[发明专利]一种解封样品密封器的装置及方法

权利要求书

1.一种用于解封样品密封器的装置，其特征在于：包括主真空室（1）、第一真空手套组件（2）、第二真空手套组件（3）、第一观察窗（4）、第二观察窗（5）、上真空传动机构（6）、下真空传动机构（7）、电阻规（8）、电离规（9）、压阻真空计（10）、涡轮分子泵（11）、干泵（12）、第一真空阀门（13）、第二真空阀门（14）、第三真空阀门（15）、第四真空阀门（16）、第五真空阀门（17）、第六真空阀门（18）、气瓶（19）和样品密封器（20）；

所述主真空室（1）为圆球形结构，在所述主真空室（1）上设有舱门，在所述主真空室（1）上开有四个安装孔，所述四个安装孔分别位于所述主真空室（1）垂直相交的轴线上，在所述主真空室（1）垂直轴线的上端两侧分别开有通孔；在所述主真空室（1）垂直轴线的下端两侧分别开有管道连接孔；

在所述上真空传动机构（6）和下真空传动机构（7）设有托盘；

其连接关系在于：所述第一真空手套组件（2）和第二真空手套组件（3）通过其手套底部密封安装在所述主真空室（1）水平轴线两端的安装孔处，所述第一观察窗（4）和第二观察窗（5）密封安装在所述主真空室（1）垂直轴线上端两侧的通孔处，所述上真空传动机构（6）和下真空传动机构（7）密封安装在所述主真空室（1）垂直轴线两端的安装孔处，所述样品密封器（20）置于所述主真空室（1）内并固定在下真空传动机构（7）的托盘上；所述电阻规（8）、电离规（9）、压阻真空计（10）分别密封安装在所述上真空传动机构（6）两侧；所述第一真空手套组件（2）和第二真空手套组件（3）的内腔分别与所述干泵（12）通过管路相连，在其对应的管路上安装所述第四真空阀门（16）和第五真空阀门（17）；所述主真空室（1）的第一管道连接孔通过管路与所述气瓶（19）相连并在其管路上安装所述第六真空阀门（18），所述主真空室（1）的第二管道连接孔通过管路与所述涡轮分子泵（11）的一端相连并在其管路上安装所述第一真空阀门（13），所述涡轮分子泵（11）的另一端通过管路与干泵（12）相连并在其管路上安装第三真空阀门（15）；所述主真空室（1）的第二管道连接孔还通过管路与所述干泵（12）相连并在其管路上安装第二真空阀门（14）。

2.根据权利要求1的所述一种用于解封样品密封器的装置的方法，其特征在于：

步骤一、打开主真空室（1）舱门，将样品密封器（20）固定于下真空传动机构（7）的托盘上；

步骤二、调节上真空传动机构（6），使上真空传动机构（6）的托盘与样品密封器（20）的盖板连接并固定，关闭主真空室（1）舱门；

步骤三、用盲板分别将真第一空手套组件（2）和第二真空手套组件（3）密封，开启干泵（12），打开第四真空阀门（16）和第五真空阀门（17），对真空手套组件（2）和真空手套组件（3）内腔抽真空，抽真空完毕后，关闭第四真空阀门（16）和第五真空阀门（17）；

步骤四、打开第二真空阀门（14），利用干泵（12）对主真空室（1）抽粗真空，观察电阻规（8）的读数，待电阻规（8）的读数低于10Pa时，关闭第二真空阀门（14）；

步骤五、打开第三真空阀门（15），对涡轮分子泵（11）抽粗真空，抽真空完毕后，开启涡轮分子泵（11），打开第一真空阀门（13），对主真空室（1）抽真空，待电离规（9）的读数低于5×10^-3Pa时，关闭第一真空阀门（13），停止抽气；

步骤六、打开第六真空阀门（18），通过气瓶（19）往主真空室（1）内充入高纯氮气，观察压阻真空计（10）的读数，待主真空室（1）内的压力接近外界大气压室时，关闭第六真空阀门（18），停止充气；

步骤七、解除真空手套组件（2）和真空手套组件（3）上的盲板，通过真空手套组件（2）和真空手套组件（3）的操作，解除样品密封器（20）上盖板的锁紧密封件；

步骤八、用盲板将真空手套组件（2）和真空手套组件（3）密封，打开第二真空阀门（14），利用干泵（12）对主真空室（1）抽粗真空，观察电阻规（8）的读数，待电阻规（8）的读数低于10Pa时，关闭第二真空阀门（14）；

步骤九、打开第三真空阀门（15），对涡轮分子泵（11）抽粗真空，抽真空完毕后，开启涡轮分子泵（11），打开第一真空阀门（13），对主真空室（1）抽真空，待电离规（9）的读数低于5×10^-3Pa时，关闭第一真空阀门（13），停止抽气；

步骤十、调节下真空传动机构（7），使下真空传动机构（7）上的托盘逆时钟方向旋转约30°，调节上真空传动机构（6），使上真空传动机构（7）上的托盘向上移动，与上真空传动机构（7）上的托盘固定的样品密封器（20）上盖板随上真空传动机构（7）向上移动，使样品密封器（20）在高真空环境下解封。