[发明专利]采用外差式干涉条纹锁定控制的全息光栅曝光方法

权利要求书

1.采用外差式干涉条纹锁定控制的全息光栅曝光方法，其特征是，该方法由以下步骤实现：

步骤一、在全息光栅曝光装置中配置外差式干涉条纹锁定控制装置，光源激光器（1）发出的激光经第一定频声光调制器（2）后的零级衍射光经第一分光片（4）后形成第一束记录光（7）和第二束记录光（8）；所述第一束记录光（7）进入声光移频器（9）后的出射光束为移频干涉光束（11），所述移频干涉光束（11）经过第二分光片（13）和第四分光片（18）进入第一相位测量接收器（23）；第二束记录光（8）进入第二定频声光调制器（10）后的出射光束为定频干涉光束（12），所述定频干涉光束（12）经过第三分光片（14）和第五分光片（19）进入第二相位测量接收器（24）；经第一定频声光调制器（2）出射的一级衍射光作为相干光束相位测量的参考光束，所述一级衍射光经过第一平面反射镜（3）、第四平面反射镜（20）、第六分光片（21）后，透射光束经第五分光片（19）进入第二相位测量接收器（24）；反射光束经第五平面反射镜（22）和第四分光片（18）进入第一相位测量接收器（23）；

步骤二、通过人机交互界面（29）设定移频干涉光束（11）和定频干涉光束（12）之间的目标相位差，所述第一相位测量接收器（23）和第二相位测量接收器（24）分别接收差频光信号并进行光电信号转换，转换后的电信号传入控制系统（25），所述控制系统（25）获得移频干涉光束（11）和定频干涉光束（12）之间的相位差；

步骤三、根据步骤二获得的相位差与设定的目标相位差比较，控制声光移频器（9）的驱动频率，调整移频干涉光束（11）的频率，实现干涉条纹的闭环锁定，然后将光栅基底放置在干涉条纹锁定后的干涉场（17）中进行曝光。

2.根据权利要求1所述的采用外差式干涉条纹锁定控制的全息光栅曝光方法，其特征在于，所述的控制系统（25）包括差频信号测量板卡（26）、核心控制器（27）和并行IO板卡（28），所述第一相位测量接收器（23）与差频信号测量板卡（26）的测量轴连接，第二相位测量接收器（24）与差频信号测量板卡（26）的参考轴连接，核心控制器（27）读取差频信号板卡（26）的参考轴和测量轴数据，通过并行IO板卡（28）控制声光移频器（9），所述第一相位测量接收器（23）与第二相位测量接收器（24）将接收的差频光信号转换为电信号后，传入控制系统（25），所述控制系统（25）内部的差频测量板卡（26）的减法器对相干光束的相位作差，获取移频干涉光束（11）和定频干涉光束（12）之间的相位差，该相位差与设定的目标相位差比较，将比较结果通过反馈控制算法计算并通过IO板卡（28）输出数字控制量控制声光移频器（9）的驱动频率，调整移频干涉光束（11）的频率，完成干涉条纹的闭环锁定。