[发明专利]反应室观测窗及使用其的反应室无效

专利信息
申请号: 201310697991.9 申请日: 2013-12-18
公开(公告)号: CN103789742A 公开(公告)日: 2014-05-14
发明(设计)人: 江淋梁 申请(专利权)人: 友达光电股份有限公司
主分类号: C23C14/52 分类号: C23C14/52
代理公司: 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 代理人: 梁挥;祁建国
地址: 中国台湾新竹科*** 国省代码: 中国台湾;71
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 反应 观测 使用
【说明书】:

技术领域

发明有关于一种观测窗结构;具体而言,本发明有关于一种用于反应室且具挡止结构的观测窗。

背景技术

观测窗可装设于容器、腔体、或者房室的壁上,藉此使用者或操作者得以看到容器内、腔体内、或者房室内的情况如反应情形、制造过程、机器的运作。特别是当该反应、该制造、或者该运作中的机器可能因该容器、腔体、或房室的开启而受到影响时,观测窗帮助外部的使用者或操作者判断空间内部的情形而作出反应。举例来说,该腔体可为蒸镀机腔体;工作人员可由观测窗观察蒸镀过程。

然而,在蒸镀的过程中,镀着材料可能附着于观测窗上,使得工作人员不再能透过观测窗看见腔体内的情形。为避免此一状况,可将一种具有遮板的观测窗装设在腔体上。如图1A所示,公知观测窗8包含第一遮板2、第二遮板4、以及窗玻璃6。第一遮板2、第二遮板4、以及窗玻璃6依序排列,其中第一遮板2设置于第二遮板4朝向腔体内的一侧而至少具有全开及全闭两种状态,如图1B所示。第一遮板的全闭是指其遮蔽第二遮板4与窗玻璃6,其中第二遮板4与窗玻璃6全部投影于第一遮板2;当第一遮板2全开时,暴露窗玻璃6的至少一部分,使工作人员得经由窗玻璃6看见腔体内部。另一方面,第二遮板4由两约呈半圆形的片体组成;两半圆形片体的至少其一可相对另一者转动,如图1B所示,因此工作人员可经由窗玻璃6透过片体之间约呈扇形的缺口看见腔体内部,其中第二遮板4在扇形缺口以外的部分遮挡窗玻璃6,藉以在第一遮板2全开时避免镀着材料附着或镀上窗玻璃6。然而,镀着材料仍可经由第二遮板4与窗玻璃6之间的间隙g抵达窗玻璃上,因此防止镀材附着或镀上窗玻璃的效果有待改善。

发明内容

本发明的目的在于提供一种反应室观测窗,具有较长的使用效期。

本发明的另一目的在于提供一种反应室观测窗,具有较佳的镀材防着或防镀能力。

本发明的另一目的在于提供一种反应室观测窗,具有较佳的玻璃利用率。

本发明提供一种反应室观测窗,供装设于反应室腔体侧壁上,包含遮板与透明板。遮板连接于反应室腔体侧壁并具有第一观测口及一外侧面;透明板设置于该外侧面的一侧,并自该外侧面覆盖第一观测口。透明板上并定义至少一第一观测区与一第二观测区,该第一观测区与该第二观测区至少部分不重叠。透明板相对于遮板定义至少一第一观测位置及一第二观测位置;当透明板位于第一观测位置时,其第一观测区覆盖第一观测口,当透明板位于第二观测位置时,其第二观测区覆盖第一观测口。

本发明提供一种反应室,包含反应腔体侧壁及前述反应室观测窗。反应腔体侧壁具有观测孔,可供反应室观测窗的遮板位于其内且连接于反应腔体侧壁。

以下结合附图和具体实施例对本发明进行详细描述,但不作为对本发明的限定。

附图说明

图1A-1C所示为公知观测窗的示意图;

图2所示为本发明反应室观测窗实施例的分解图;

图3A~3D所示为本发明反应室观测窗实施例的示意图;

图4为图2所示实施例的组合侧视图;

图5所示为本发明反应室观测窗另一实施例的分解图;

图6为图5所示实施例的组合图;

图7所示为图6所示实施例沿A-A线的剖视图;

图8所示为本发明反应室实施例的局部分解图;

图9A所示本发明反应室实施例的局部剖视图;

图9B与10A~10B所示为本发明反应室其他实施例的局部剖视图;以及

图11所示为本发明反应室另一实施例的示意图。

其中,附图标记

10反应室观测窗

100遮板

130第一观测口

150外侧面

200透明板

210第一观测区

220第二观测区

300轴杆

330螺纹

360环状突缘

371、372容置槽

400观测窗本体

430第二观测口

450侧壁

470中心孔

610第一密封环

620第二密封环

70反应室

700反应腔体侧壁

710观测孔

712内壁面

714外壁面

800盖板

90隔板

2第一遮板

4第二遮板

6窗玻璃

8观测窗

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于友达光电股份有限公司,未经友达光电股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201310697991.9/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top