[发明专利]反应室观测窗及使用其的反应室无效
申请号: | 201310697991.9 | 申请日: | 2013-12-18 |
公开(公告)号: | CN103789742A | 公开(公告)日: | 2014-05-14 |
发明(设计)人: | 江淋梁 | 申请(专利权)人: | 友达光电股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/52 | 分类号: | C23C14/52 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 梁挥;祁建国 |
地址: | 中国台湾新竹科*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 反应 观测 使用 | ||
技术领域
本发明有关于一种观测窗结构;具体而言,本发明有关于一种用于反应室且具挡止结构的观测窗。
背景技术
观测窗可装设于容器、腔体、或者房室的壁上,藉此使用者或操作者得以看到容器内、腔体内、或者房室内的情况如反应情形、制造过程、机器的运作。特别是当该反应、该制造、或者该运作中的机器可能因该容器、腔体、或房室的开启而受到影响时,观测窗帮助外部的使用者或操作者判断空间内部的情形而作出反应。举例来说,该腔体可为蒸镀机腔体;工作人员可由观测窗观察蒸镀过程。
然而,在蒸镀的过程中,镀着材料可能附着于观测窗上,使得工作人员不再能透过观测窗看见腔体内的情形。为避免此一状况,可将一种具有遮板的观测窗装设在腔体上。如图1A所示,公知观测窗8包含第一遮板2、第二遮板4、以及窗玻璃6。第一遮板2、第二遮板4、以及窗玻璃6依序排列,其中第一遮板2设置于第二遮板4朝向腔体内的一侧而至少具有全开及全闭两种状态,如图1B所示。第一遮板的全闭是指其遮蔽第二遮板4与窗玻璃6,其中第二遮板4与窗玻璃6全部投影于第一遮板2;当第一遮板2全开时,暴露窗玻璃6的至少一部分,使工作人员得经由窗玻璃6看见腔体内部。另一方面,第二遮板4由两约呈半圆形的片体组成;两半圆形片体的至少其一可相对另一者转动,如图1B所示,因此工作人员可经由窗玻璃6透过片体之间约呈扇形的缺口看见腔体内部,其中第二遮板4在扇形缺口以外的部分遮挡窗玻璃6,藉以在第一遮板2全开时避免镀着材料附着或镀上窗玻璃6。然而,镀着材料仍可经由第二遮板4与窗玻璃6之间的间隙g抵达窗玻璃上,因此防止镀材附着或镀上窗玻璃的效果有待改善。
发明内容
本发明的目的在于提供一种反应室观测窗,具有较长的使用效期。
本发明的另一目的在于提供一种反应室观测窗,具有较佳的镀材防着或防镀能力。
本发明的另一目的在于提供一种反应室观测窗,具有较佳的玻璃利用率。
本发明提供一种反应室观测窗,供装设于反应室腔体侧壁上,包含遮板与透明板。遮板连接于反应室腔体侧壁并具有第一观测口及一外侧面;透明板设置于该外侧面的一侧,并自该外侧面覆盖第一观测口。透明板上并定义至少一第一观测区与一第二观测区,该第一观测区与该第二观测区至少部分不重叠。透明板相对于遮板定义至少一第一观测位置及一第二观测位置;当透明板位于第一观测位置时,其第一观测区覆盖第一观测口,当透明板位于第二观测位置时,其第二观测区覆盖第一观测口。
本发明提供一种反应室,包含反应腔体侧壁及前述反应室观测窗。反应腔体侧壁具有观测孔,可供反应室观测窗的遮板位于其内且连接于反应腔体侧壁。
以下结合附图和具体实施例对本发明进行详细描述,但不作为对本发明的限定。
附图说明
图1A-1C所示为公知观测窗的示意图;
图2所示为本发明反应室观测窗实施例的分解图;
图3A~3D所示为本发明反应室观测窗实施例的示意图;
图4为图2所示实施例的组合侧视图;
图5所示为本发明反应室观测窗另一实施例的分解图;
图6为图5所示实施例的组合图;
图7所示为图6所示实施例沿A-A线的剖视图;
图8所示为本发明反应室实施例的局部分解图;
图9A所示本发明反应室实施例的局部剖视图;
图9B与10A~10B所示为本发明反应室其他实施例的局部剖视图;以及
图11所示为本发明反应室另一实施例的示意图。
其中,附图标记
10反应室观测窗
100遮板
130第一观测口
150外侧面
200透明板
210第一观测区
220第二观测区
300轴杆
330螺纹
360环状突缘
371、372容置槽
400观测窗本体
430第二观测口
450侧壁
470中心孔
610第一密封环
620第二密封环
70反应室
700反应腔体侧壁
710观测孔
712内壁面
714外壁面
800盖板
90隔板
2第一遮板
4第二遮板
6窗玻璃
8观测窗
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