[发明专利]光学滤波器装置及电子设备有效
申请号: | 201310700622.0 | 申请日: | 2013-12-18 |
公开(公告)号: | CN103885110B | 公开(公告)日: | 2017-12-22 |
发明(设计)人: | 小池繁光 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | G02B5/28 | 分类号: | G02B5/28 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司11240 | 代理人: | 余刚,吴孟秋 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光学 滤波器 装置 电子设备 | ||
技术领域
本发明涉及光学滤波器装置以及具备该光学滤波器装置的电子设备。
背景技术
以前,已知有在一对基板彼此相对的面上隔着规定的间隙而分别相对配置有反射膜的干涉滤波器。另外,已知有将这种干涉滤波器容纳于壳体内的光学滤波器装置(例如,参照专利文献1以及专利文献2)。
该专利文献1中记载的红外线式气体检测器(光学滤波器装置)具备板状的台座(基底基板)以及具有圆筒状的盖帽的外壳(壳体)。在该壳体中,基底基板的周边部分与盖帽的圆筒一端部通过焊接或者粘结而连接,在基底基板与盖帽之间设有容纳法布里-珀罗滤波器(干涉滤波器)的空间。在该光学滤波器装置中,干涉滤波器粘结固定于检测部,而该检测部粘结固定于罐状外壳的台座上。
在专利文献2中,记载有一种可调光学滤波器(干涉滤波器)被固定以及容纳于外壳(壳体)内部的光学滤波器装置(光电子装置)。在该光学滤波器装置中,干涉滤波器配置在安装于壳体的头部件(ヘッダ)(基底基板)上表面的垂直堆栈内。
然而,虽然在专利文献1以及专利文献2中记载有将干涉滤波器容纳以及固定于壳体内部的内容,但未记载具体方法。
例如,存在有如下这样的课题:在将干涉滤波器固定在作为固定对象的基底基板的整个面上时,随着温度的变化,由于由两者的热膨胀系数差所产生的影响,反射膜有可能会翘曲。另外存在,在由粘合剂固定时,由于由粘合剂硬化时的收缩所产生的影响而使反射膜可能翘曲,光学特性劣化这种课题。
在先技术文献
专利文献
专利文献1:日本专利特开2008-70163号公报
专利文献2:日本专利特表2005-510756号公报
发明内容
本发明是为了解决上述课题的至少一部分而进行的,可以作为以下的应用例或方式来实现。
应用例
一种光学滤波器装置,其特征在于,具备:干涉滤波器,具有第一基板、与所述第一基板相对的第二基板、设置在第一基板上的第一反射膜,及设置在第二基板上并隔着规定的间隙与第一反射膜相对的第二反射膜;以及壳体,具有装载干涉滤波器的基底基板,并容纳干涉滤波器,干涉滤波器由配置于包括第一反射膜和第二反射膜的滤波器区域的俯视观察的外侧的一处固定部件固定于基底基板上,在滤波器区域的外侧且与固定部件分离的部分上,形成有比固定部件的高度低的衬垫部。
根据该结构,干涉滤波器由配置于滤波器区域的外侧的一处的固定部件固定于基底基板上。由此,除配置有固定部件的部分(端部)以外的周边端成为浮动状态(自由端),因而即使与基底基板存在热膨胀系数差,也能够抑制干涉滤波器(反射膜)的翘曲。具体而言,将固定部件配置在第二基板与基底基板之间的整个面上的情况下,由于由第二基板与基底基板的热膨胀系数差所产生的伸缩应力无处释放,而导致干涉滤波器自身产生翘曲。另外,在作为固定部件而使用粘合剂时,由使其固化时的收缩所产生的应力作用于整个第二基板,而导致产生翘曲。对此,通过采用在干涉滤波器中的滤波器区域的外侧的一处(一边)配置固定部件的结构,其他三边成为浮动状态(自由端),因而即使与基底基板存在热膨胀系数差,也能够使起因于该差值的伸缩应力在自由端侧释放。并且,即使是使用粘合剂的情况,其收缩应力的影响也被限于形成有固定部件的一处,不会波及其他区域。
由此,能够抑制干涉滤波器的翘曲。因此,即使在存在由于温度变化或粘合剂而产生的收缩的情况下,也能够确保所期望的光学特性。
因此,能够提供具有稳定的光学特性的光学滤波器装置。
并且,在滤波器区域的外侧且与固定部件分离的部分上,形成有比固定部件的高度低的衬垫部。如上所述,由于干涉滤波器中的、由固定部件固定的一端以外的端部(自由端)成为浮动状态,因而在壳体受到撞击时,干涉滤波器以固定部件作为支点,在壳体内部的高度方向移动。该移动剧烈时,有超过固定部件的固定(粘结)强度,导致固定部件发生剥离或龟裂之忧,而根据本应用例的结构,在撞击时,首先衬垫部抵接于基底基板而作为止动器起作用。由此,即使受到撞击的情况下,也能够抑制固定部件发生剥离或龟裂。
因此,能够提供具有充分的耐撞击性的光学滤波器装置。
并且优选,衬垫部是形成于第二基板的基底基板一侧的面上的突起部。
并且优选,干涉滤波器在俯视观察中呈长方形,第二基板的一边形成从第一基板伸出的伸出区域,固定部件设置于伸出区域与基底基板之间。
并且优选,衬垫部在俯视观察中形成于滤波器区域与伸出区域之间以及/或形成有伸出区域的边的相对边的两个顶点处。
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