[发明专利]液体喷射头、液体喷射头的制造方法以及液体喷射装置

权利要求书

1.一种液体喷射头，具备：

促动器基板，所述促动器基板由壁部分隔，且排列有多个贯通第一主面和第二主面的槽，所述壁部由压电体形成；以及

喷嘴板，所述喷嘴板以覆盖所述槽的所述第一主面侧的开口的方式设置于所述促动器基板，且具有喷嘴孔，所述喷嘴孔在所述槽的长度方向的中间部与所述槽连通，

其特征在于，在所述壁部的侧面，设置：

驱动电极，所述驱动电极从所述长度方向的一侧的端部沿所述长度方向延伸至另一侧的端部；以及

绝缘膜，所述绝缘膜覆盖所述壁部的侧面的一部分，

所述驱动电极在所述喷嘴孔的周边设置于所述壁部的表面，并且至少在所述长度方向的所述一侧的端部处在与所述壁部之间隔着所述绝缘膜而设置。

2.根据权利要求1所述的液体喷射头，其特征在于：

所述驱动电极与所述喷嘴板分离。

3.根据权利要求1或2所述的液体喷射头，其特征在于：

所述驱动电极在所述长度方向的两侧处在与所述壁部之间隔着所述绝缘膜而设置。

4.根据权利要求1或2所述的液体喷射头，其特征在于：

所述驱动电极在与所述喷嘴孔对应的位置处在与所述壁部之间还隔着所述绝缘膜而设置。

5.根据权利要求1或2所述的液体喷射头，其特征在于：

在所述驱动电极之中，在与所述壁部之间未隔着所述绝缘膜的有效驱动电极区域以相对于假想面为面对称的方式设置，所述假想面与所述长度方向正交且包含所述喷嘴孔的中心轴。

6.根据权利要求5所述的液体喷射头，其特征在于：

具备盖板，所述盖板以覆盖所述槽的所述第二主面侧的开口的方式设置于所述促动器基板，且具有对所述槽供给液体的液体供给室，

在所述槽之中，为所述喷嘴孔的周边的区域且与所述液体供给室对应的区域以外的既定区域为泵区域，

所述有效驱动电极区域的所述长度方向的两侧缘部配置于所述泵区域内。

7.根据权利要求5所述的液体喷射头，其特征在于：

具备盖板，所述盖板以覆盖所述槽的所述第二主面侧的开口的方式设置于所述促动器基板，且具有对所述槽供给液体的液体供给室，

在所述槽之中，为所述喷嘴孔的周边的区域且与所述液体供给室对应的区域以外的既定区域为泵区域，

所述有效驱动电极区域的所述长度方向的两侧缘部以沿所述泵区域与非泵区域的边界的方式配置。

8.根据权利要求6所述的液体喷射头，其特征在于：

所述盖板具备从所述槽排出所述液体的液体排出室，

所述液体供给室与所述槽的所述长度方向的所述一侧连通，所述液体排出室与所述槽的所述长度方向的所述另一侧连通，并且

在所述槽之中，与所述液体供给室和所述液体排出室之间对应的区域为所述泵区域。

9.根据权利要求8所述的液体喷射头，其特征在于：

多个所述槽由喷出槽和非喷出槽交替地排列而形成，

所述液体供给室以及所述液体排出室与所述喷出槽连通。

10.根据权利要求1或2所述的液体喷射头，其特征在于：

形成所述绝缘膜的材料的相对介电常数比形成所述壁部的所述压电体的相对介电常数小。

11.根据权利要求1或2所述的液体喷射头，其特征在于：

形成所述绝缘膜的材料以SiO₂为主成分。

12.一种权利要求1所述的液体喷射头的制造方法，其特征在于，具备：

将绝缘膜用掩模设置于压电体基板的绝缘膜用掩模设置工序；

将绝缘材料成膜于所述压电体基板的绝缘材料成膜工序；

设置驱动电极用掩模的驱动电极用掩模设置工序，所述驱动电极用掩模的与所述驱动电极的成膜区域对应的部分开口；以及

进行所述驱动电极的电极材料的成膜的驱动电极制膜工序。

13.一种液体喷射装置，具备：

权利要求1所述的液体喷射头；

移动机构，所述移动机构使所述液体喷射头与被记录介质相对地移动；

液体供给管，所述液体供给管对所述液体喷射头供给液体；以及

液体储罐，所述液体储罐对所述液体供给管供给所述液体。