[发明专利]生物搪瓷辐射板及其制备方法

权利要求书

1.生物搪瓷辐射板，其特征在于：包括基材、第一靶材、第二靶材和金属钛，第一靶材包括：Fe、Cr、Zr、Cu、Ni、Al、Bi和Ti ；第二靶材包括：Mg、Se、Ba、Cd、Sn、Mn、W、Co、Mo、Zn和Ir。

2.如权利要求1所述生物搪瓷辐射板，其特征在于：所述的第一靶材和第二靶材的材料含量为：

第一靶材，Fe：3-10份、Cr：5-15份、Zr：3-7份、Cu：2-6份、Ni：2-5份、Al：9-15份、Bi：6-8份、Ti：15-18份；

第二靶材，Mg：1-2份、Se：2份、Ba：1-4份、Cd：2-3份、Sn：2-3份、Mn：4-5份、W：2-4份、Co：4-8份、Mo：3-5份、Zn：5-8份Ir：5-7份。

3.如权利要求1或2所述生物搪瓷辐射板的制备方法，其特征在于，制备方法步骤包括：

一、用真空溅射的方法在基材上溅射Ti靶，制备生物搪瓷氧化膜；

二、通入氧气，溅射第一靶材，在基体上形成第一靶材氧化物复合层；

三、关闭第一靶材溅射，开启第二靶材溅射，在第一靶材氧化物复合层上溅射第二靶材氧化物复合层。

4.如权利要求3所述生物搪瓷辐射板的制备方法，其特征在于，所述的步骤一中的制备工艺参数如下：

工作压力0.1-0.05Pa；

溅射气体：99.99氩气；

溅射的工作电流：5-10A；

溅射厚度：5μm。

5.如权利要求3所述生物搪瓷辐射板的制备方法，其特征在于，所述的步骤二中形成的第一靶材氧化物复合层的厚度为：20-25μm。

6.如权利要求4或5所述生物搪瓷辐射板的制备方法，其特征在于，所述的第一靶材氧化物复合层包括：FeO、CrO、ZrO₂、 CuO、NiO、Al₂O₃、Bi₂O₃和TiO₂。

7.如权利要求4或5所述生物搪瓷辐射板的制备方法，其特征在于，所述的第二靶材氧化物复合层包括：MgO、SeO、BaO、CdO、SnO、 Mn₂O₃、W₂O₃、CoO₂、MoO₂、ZnO和IrO₂。