[发明专利]用于切方机的金刚线切割工艺无效
申请号: | 201310703186.2 | 申请日: | 2013-12-19 |
公开(公告)号: | CN103722624A | 公开(公告)日: | 2014-04-16 |
发明(设计)人: | 范威秋;贺贤汉 | 申请(专利权)人: | 上海汉虹精密机械有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04 |
代理公司: | 上海顺华专利代理有限责任公司 31203 | 代理人: | 沈履君 |
地址: | 200444 上海市宝*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 切方机 金刚 切割 工艺 | ||
1.用于切方机的金刚线切割工艺,其特征在于,包括:
第一步,将待加工的晶棒放在晶托上并加磁固定;
第二步,开动切方机进行带砂切割;其中,砂浆的流量≥18O升/分钟,金刚线切割的线速为900米/分钟,循环时间为90秒,新线送线量为6米/分钟,进给速度为2.0毫米/分钟;
第三步,从晶托分离并检验。
2.根据权利要求1所述的用于切方机的金刚线切割工艺,其特征在于,所述金刚线线轮的最大张力为80牛顿。
3.根据权利要求2所述的用于切方机的金刚线切割工艺,其特征在于,所述金刚线线轮的直径为260毫米。
4.根据权利要求2或3所述的用于切方机的金刚线切割工艺,其特征在于,所述金刚线线轮的材质为铝。
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