[发明专利]基板处理装置和基板支撑装置

权利要求书

1.一种基板处理装置，具备：

支撑基板的基板支撑部；及

以能够拍摄所述基板支撑部的方式构成的拍摄部，

所述基板处理装置构成为，基于所述拍摄部对所述基板支撑部的拍摄结果来调整所述基板相对于所述基板支撑部的位置以消除所述基板支撑部中的设计上的装配误差。

2.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，

所述基板处理装置还具备搬运所述基板的基板搬运部，

通过基于所述拍摄部对所述基板支撑部的拍摄结果来调整由所述基板搬运部搬运基板后的基板停止位置，从而在调整后的所述基板停止位置由所述基板支撑部支撑所述基板。

3.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，

所述基板支撑部具有能够确定所述基板支撑部的位置的基准标记，

通过由所述拍摄部拍摄所述基准标记而掌握所述基板支撑部偏离基准位置的位置偏差量，并根据所述位置偏差量来调整所述基板相对于所述基板支撑部的位置。

4.根据权利要求3所述的基板处理装置，其中，

通过由所述拍摄部拍摄所述基准标记而掌握所述基板支撑部偏离基准位置的位置偏差量，并根据所述位置偏差量来调整所述基板相对于所述基板支撑部的在搬运方向上的位置。

5.根据权利要求3所述的基板处理装置，其中，

所述拍摄部以能够拍摄所述基板的上表面的方式构成，

所述基板支撑部包括支撑所述基板的下表面的背撑销，

基于所述拍摄部对作为所述基准标记的所述背撑销的前端部的拍摄结果来掌握所述基板支撑部偏离基准位置的位置偏差量。

6.根据权利要求3所述的基板处理装置，其中，

所述基板处理装置还具备以能够在水平面内移动且能够进行对所述基板的处理的方式构成的头部，

在所述头部安装有所述拍摄部，

构成为，所述头部在水平面内移动时由与所述头部一起移动的所述拍摄部拍摄所述基准标记，从而掌握所述基板支撑部偏离基准位置的位置偏差量。

7.根据权利要求6所述的基板处理装置，其中，

所述拍摄部包括基板识别用相机，所述基板识别用相机用于识别在进行对所述基板的处理时由所述基板支撑部支撑的所述基板的位置，

由与所述头部一起移动的所述基板识别用相机拍摄所述基准标记，从而掌握所述基板支撑部偏离基准位置的位置偏差量。

8.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，

根据基于所述基板支撑部的拍摄结果而掌握的所述基板相对于所述基板支撑部的位置的调整量来进行之后的对所述基板的处理。

9.根据权利要求2所述的基板处理装置，其中，

构成为，在调整了由所述基板搬运部搬运基板后的所述基板停止位置的状态下，通过所述基板搬运部将所述基板固定于所述基板停止位置，

在通过所述基板搬运部将所述基板固定于所述基板停止位置的状态下，由所述基板支撑部支撑所述基板。

10.一种基板支撑装置，具备：

支撑基板的基板支撑部；及

以能够拍摄所述基板支撑部的方式构成的拍摄部，

所述基板支撑装置构成为，基于所述拍摄部对所述基板支撑部的拍摄结果来调整所述基板相对于所述基板支撑部的位置以消除所述基板支撑部中的设计上的装配误差。