[发明专利]玻璃微粒子合成用燃烧器、沉积体的制造方法及沉积装置

权利要求书

1.一种玻璃微粒子合成用燃烧器，供应玻璃原料气体、可燃性气体及助燃气体，将在火焰中精制的玻璃微粒子喷射沉积于初始材料上，其中，该玻璃微粒子合成用燃烧器包括：

玻璃原料气体喷出流路，用于喷出玻璃原料；

环状的可燃性气体喷出流路，位于所述玻璃原料气体喷出流路的外侧，用于喷出可燃性气体；

环状的助燃气体喷出流路，位于所述可燃性气体喷出流路的外侧，用于喷出助燃气体；以及

小口径喷嘴，位于所述可燃性气体喷出流路内，用于喷出助燃气体；

在对所述玻璃微粒子合成用燃烧器的中心轴进行垂直切断的截面图中，当由通过所述玻璃微粒子合成用燃烧器的中心的预设直线将所述玻璃微粒子合成用燃烧器分割成两个区域时，位于一方区域中的所述小口径喷嘴的总面积大于位于另一方区域中的所述小口径喷嘴的总面积；

在对所述玻璃微粒子合成用燃烧器的中心轴垂直切断的截面图中，设置于可燃性气体区域内的所述多个小口径喷嘴的位置只有当旋转n×360°时，才与初始的小口径喷嘴的配置相同，不具有旋转对称性，其中，n为整数。

2.根据权利要求1所述的玻璃微粒子合成用燃烧器，其中，具有多个具有相同面积的所述小口径喷嘴，位于所述一方区域中的所述多个小口径喷嘴的数量多于位于所述另一区域中的所述多个小口径喷嘴的数量。

3.根据权利要求2所述的玻璃微粒子合成用燃烧器，其中，在对所述玻璃微粒子合成用燃烧器沿与中心轴垂直的方向切断的截面图中，设置于可燃性气体区域内的所述多个小口径喷嘴的位置以通过燃烧器中心进行左右分割的线为对称线，使所述多个小口径喷嘴呈左右对称设置，并且所述多个小口径喷嘴以通过所述玻璃微粒子合成用燃烧器的中心进行上下分割的线为对称线呈非对称设置。

4.一种玻璃微粒子沉积体的制造方法，其特征在于：使用根据权利要求1所述的玻璃微粒子合成用燃烧器。