[发明专利]一种加工碳化硅刀片的方法有效

专利信息
申请号: 201310706471.X 申请日: 2013-12-20
公开(公告)号: CN103659211A 公开(公告)日: 2014-03-26
发明(设计)人: 韩庆;陈静;林海;顾亚平 申请(专利权)人: 上海现代先进超精密制造中心有限公司
主分类号: B23P15/28 分类号: B23P15/28
代理公司: 上海新天专利代理有限公司 31213 代理人: 张泽纯
地址: 200433 上海市杨*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 加工 碳化硅 刀片 方法
【权利要求书】:

1.一种加工碳化硅刀片的方法,其特征在于,采用超声发生系统与铣削相结合的方式。

2.根据权利要求1所述的加工碳化硅刀片的方法,其特征在于,该方法具体包括如下步骤:

①来料检验:测量待加工碳化硅刀片的长度、宽度和高度。

②夹具的准备:

选择比待加工碳化硅刀片的尺寸大50mm的铝块,该铝块的两端设有沉头孔;

选择比待加工碳化硅刀片的尺寸大5mm的K9玻璃。

③刀具准备:根据待加工碳化硅刀片的尺寸选择相应的金刚石磨头和金刚石钻头;

④铣削平面:

首先,将待加工碳化硅刀片的一面与铝块粘接形成组合体,铣削该待加工碳化硅刀片的另一面至加工要求的厚度;

接着,将组合体放置加热炉上,加热至60~80摄氏度,关闭加热炉,轻轻移动碳化硅,使碳化硅刀片与铝块分离;

然后,将待加工碳化硅刀片的已加工面与玻璃粘接后,再把玻璃与铝块粘接,形成复合组合体,铣削该待加工碳化硅刀片未加工面至要求的厚度;

⑤铣削外形;

⑥清角;

⑦铣削刀刃;

⑧钻孔;

⑨脱接:将复合组合体放置加热炉上,加热至60~80摄氏度,关闭加热炉,轻轻移动碳化硅,使碳化硅刀片与玻璃分离。

3.根据权利要求2所述的加工碳化硅刀片的方法,其特征在于,所述的步骤④中复合组合体的粘接具体步骤如下:

第一步.玻璃和碳化硅相粘接

将玻璃放置在铝块上,加热铝块,通过铝块的温度传导到玻璃上,待玻璃上的温度达到60摄氏度,关闭加热炉,在玻璃的上表面均匀涂抹黄蜡,把待加工碳化硅刀片放在涂抹有黄蜡的玻璃表面,来回推挤以排出气泡,使其达到最佳粘接效果,然后将玻璃和碳化硅放置阴凉处,以重物压之,直至冷却至常温;

第二步.玻璃和碳化硅的组合体与铝块相粘接

将铝块放置在加热炉上,加热铝块至70摄氏度,关闭加热炉,在铝块的表面均匀涂抹黄蜡,将玻璃和碳化硅的组合体以玻璃下表面与涂有黄蜡的铝块表面相粘接,来回推挤以排出气泡,使其达到最佳粘接效果,然后将其放置阴凉处,以重物压之,直至冷却至常温。

4.根据权利要求2所述的加工碳化硅刀片的方法,其特征在于,所述的步骤⑨中复合组合体的脱接具体步骤如下:

将复合组合体放置在加热炉上,加热至65~75摄氏度,使碳化硅刀片可移动时,关闭加热炉,移动复合组合体,使碳化硅刀片与玻璃分离,用酒精擦去残余黄蜡。

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