[发明专利]气液分离装置及研磨装置

权利要求书

1.一种气液分离装置，将从用于研磨基板表面的研磨装置产生的气液二相流分离成气体和液体并排出，其特征在于，具有：

上方开口的有底筒状的气液分离槽；

筒状的气液导入管，该气液导入管从所述开口在所述气液分离槽的内部向下方延伸而到达该气液分离槽的内部，将包含发泡性液体的气液二相流导入所述气液分离槽内；

喷雾喷嘴，该喷雾喷嘴将纯水向积存于所述气液分离槽的底部的液体进行喷雾；

排放管，该排放管连通于设在所述气液分离槽的底部的液体排出口；

排气管，该排气管连通于设在所述气液分离槽的侧部的排气口；以及

排气箱，该排气箱的内部设有捕捉气体所含的雾沫的雾沫捕捉器，

所述喷雾喷嘴配置于所述气液分离槽内，

所述排气管连通于所述排气箱，

所述排气口位于所述气液导入管的下端的上方。

2.如权利要求1所述的气液分离装置，其特征在于，所述喷雾喷嘴由圆锥喷嘴构成，并且具有多个所述喷雾喷嘴。

3.如权利要求1所述的气液分离装置，其特征在于，所述雾沫捕捉器具有：捕捉板，该捕捉板配置成与气体的流动相冲撞；以及塞板，该塞板挡住被所述捕捉板捕捉向下方落下而积存于所述排气箱底部的液体向下游的流动。

4.一种研磨装置，其特征在于，具有：

具有研磨面的研磨台；

对基板进行保持并将其按压到所述研磨面的顶环；

将处理液供给到所述研磨面的处理液供给喷嘴；

配置在所述研磨台的周围，回收从该研磨台去除的气液二相流的排放储存罐；以及

将回收到所述排放储存罐内的气液二相流分离成气体和液体并予以排出的气液分离装置，

所述气液分离装置具有：

上方开口的有底筒状的气液分离槽；

筒状的气液导入管，该气液导入管从所述开口在所述气液分离槽的内部向下方延伸而到达该气液分离槽的内部，将包含发泡性液体的气液二相流导入所述气液分离槽内；

喷雾喷嘴，该喷雾喷嘴将纯水向积存于所述气液分离槽的底部的液体进行喷雾；

排放管，该排放管与设在所述气液分离槽的底部的液体排出口连通；

排气管，该排气管与设在所述气液分离槽的侧部的排气口连通；以及

排气箱，该排气箱的内部设有捕捉气体所含的雾沫的雾沫捕捉器，

所述喷雾喷嘴配置于所述气液分离槽内，

所述排气管连通于所述排气箱，

所述排气口位于所述气液导入管的下端的上方，将在所述气液导入管内向下方移动的气液二相流分离成气体和液体，使该气体从所述气液导入管的下端向上方移动，从所述排气口排出该气体。