[发明专利]一种微空心阴极等离子体处理装置有效
| 申请号： | 201310713637.0 | 申请日： | 2013-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN103730320A | 公开（公告）日： | 2014-04-16 |
| 发明（设计）人： | 王红卫;沈文凯 | 申请（专利权）人： | 苏州市奥普斯等离子体科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 | 代理人： | 孟宏伟 |
| 地址： | 215011 江苏省苏州市苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 空心 阴极 等离子体 处理 装置 | ||
1. 一种微空心阴极等离子体处理装置，包括电极组件、绝缘板和高频电源，所述电极组件包括相互平行设置的第一平板电极和第二平板电极，所述绝缘板设置于所述第一平板电极和所述第二平板电极之间，所述第一平板电极与所述高频电源的负极电连接，所述第二平板电极与所述高频电源的正极电连接，其特征在于，所述第一平板电极、第二平板电极和绝缘板上分别贯穿设置有气孔，所述上部气孔直径尺寸小于所述下部气孔直径尺寸。
2. 根据权利要求1所述的微空心阴极等离子体处理装置，其特征在于，所述第一平板电极的厚度尺寸大于所述第二平板电极的厚度尺寸。
3. 根据权利要求1所述的微空心阴极等离子体处理装置，其特征在于，所述第一平板电极上开设有至少一个第一气孔，所述第二平板电极上开设有至少一个第二气孔，所述绝缘板上开设有至少一个绝缘气孔，所述第一气孔、第二气孔和绝缘气孔的轴心在同一直线上。
4. 根据权利要求3所述的微空心阴极等离子体处理装置，其特征在于，所述第二气孔的直径尺寸与所述绝缘气孔的直径尺寸相同，所述第一气孔的直径尺寸小于所述第二气孔和所述绝缘气孔的直径尺寸。
5. 根据权利要求3所述的微空心阴极等离子体处理装置，其特征在于，所述第一气孔的上部直径尺寸小于所述第一气孔的下部直径尺寸，所述第一气孔的下部直径尺寸、所述第二气孔的直径尺寸与所述绝缘气孔的直径尺寸相同。
6. 根据权利要求1-5任一所述的微空心阴极等离子体处理装置，其特征在于，还包括用于放置材料的物料架，所述物料架设置于所述第二平板电极下方。
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