[发明专利]控制测试头在XY平面内精确运动定位的机械手臂

权利要求书

1.一种控制测试头在XY平面内精确运动定位的机械手臂，其特征在于：由三节手臂连接组成，第一节手臂（1）为沿Z轴直线运动的升降手臂，第二节手臂（2）轴连接于所述第一节手臂（1），第三节手臂（3）轴连接于所述第二节手臂（2），所述第二节手臂（2）、所述第三节手臂（3）为在XY平面内移动的回转手臂，所述第二节手臂（2）、所述第三节手臂（3）上分别安装有限位板（4），测试头安装在所述第三节手臂（3）前端。

2.根据权利要求1所述的控制测试头在XY平面内精确运动定位的机械手臂，其特征在于：还包括由底座（5）、导轨（6）、升降机构组成的基座，所述导轨（6）沿Z轴垂直安装在所述底座（5）上，所述第一节手臂（1）连接于所述导轨（6）由所述升降机构带动运动。

3.根据权利要求2所述的控制测试头在XY平面内精确运动定位的机械手臂，其特征在于：所述升降机构包括定滑轮（7）、配重块（8）、钢丝绳（9）。

4.根据权利要求1所述的控制测试头在XY平面内精确运动定位的机械手臂，其特征在于：所述第三节手臂（3）与所述测试头之间还安装有机械手（10），所述机械手（10）轴连接于所述第三节手臂（3），所述机械手（10）在垂直于XY平面内翻转。

5.根据权利要求1所述的控制测试头在XY平面内精确运动定位的机械手臂，其特征在于：所述第二节手臂（2）、所述第三节手臂（3）上分别安装的所述限位板（4）其限制移动回转的角度范围均为0°～180°。

6.根据权利要求1或5所述的控制测试头在XY平面内精确运动定位的机械手臂，其特征在于：所述限位板（4）上标有角度刻度。