[发明专利]一种多晶硅片酸性制绒液的添加剂及其应用

权利要求书

1.一种多晶硅片酸性制绒液的添加剂，其特征在于，包括如下组分：季戊四醇，无水醋酸钠、聚乙二醇和去离子水；

其中，所述季戊四醇的重量百分含量为0.5～2%，所述无水醋酸钠的重量百分比为0.5～2%，所述聚乙二醇的重量百分含量为0.5～2%，所述去离子水的重量百分含量为94～98.5%。

2.根据权利要求1所述的多晶硅片酸性制绒液的添加剂，其特征在于，所述聚乙二醇的分子量为200～5000。

3.根据权利要求2所述的多晶硅片酸性制绒液的添加剂，其特征在于，所述聚乙二醇为分子量200的聚乙二醇、分子量300的聚乙二醇、分子量400的聚乙二醇、分子量600的聚乙二醇、分子量1000的聚乙二醇、分子量1500的聚乙二醇、分子量2000的聚乙二醇、分子量4000的聚乙二醇或分子量5000的聚乙二醇中的任意一种。

4.根据权利要求2所述的多晶硅片酸性制绒液的添加剂，其特征在于，所述聚乙二醇的分子量为400～1000。

5.根据权利要求4所述的多晶硅片酸性制绒液的添加剂，其特征在于，所述聚乙二醇为分子量400的聚乙二醇、分子量600的聚乙二醇或分子量1000的聚乙二醇中的任意一种。

6.一种应用权利要求1至5任一项所述的添加剂进行酸制绒的方法，其特征在于，包括以下步骤：

1）将季戊四醇，无水醋酸钠和聚乙二醇溶解于去离子水中，制得添加剂，其中，

所述所述季戊四醇的重量百分含量为0.5～2%，所述无水醋酸钠的重量百分比为0.5～2%，所述聚乙二醇的重量百分含量为0.5～2%，所述去离子水的重量百分含量为94～98.5%；

2）将氢氟酸和硝酸溶于去离子水中制得酸混合溶液，然后将步骤1）中制得的添加剂加入到所述酸混合溶液中，得到酸性制绒液，其中，

所述氢氟酸的重量百分含量为5～10%，所述硝酸的重量百分含量为35～50%，添加剂的重量百分含量为0.2～1%，所述去离子水的重量百分含量为39～59.8%；

3）将砂浆切割多晶硅片或金刚线切割多晶硅片浸入到步骤2）中制得的酸性制绒液中进行制绒，即可。

7.根据权利要求6所述的酸制绒的方法，其特征在于，在步骤3）中，所述进行制绒的工艺条件如下：制绒过程的制绒温度为5～25℃，制绒时间为60～200秒。

8.根据权利要求7所述的酸制绒的方法，其特征在于，所述制绒过程的制绒温度为5～10℃，制绒时间为100～150秒。

9.一种权利要求1至5任一项所述的多晶硅片酸性制绒液的添加剂的应用，其特征在于，所述添加剂可同时应用于砂浆切割以及金刚线切割。