[发明专利]一种高介电常数的Bi1-xDyxFeO3 薄膜及其制备方法有效
| 申请号： | 201310717935.7 | 申请日： | 2013-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN103723771A | 公开（公告）日： | 2014-04-16 |
| 发明（设计）人： | 谈国强;晏霞 | 申请（专利权）人： | 陕西科技大学 |
| 主分类号： | C01G49/00 | 分类号： | C01G49/00 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 陆万寿 |
| 地址： | 710021 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 介电常数 bi sub dy feo 薄膜 及其 制备 方法 | ||
1.一种高介电常数的Bi1-xDyxFeO3薄膜的方法，其特征在于：其化学式为Bi1-xDyxFeO3，x=0.06～0.08；在1kHz下，其介电常数为152.8～241.6。
2.根据权利要求1所述的高介电常数的Bi1-xDyxFeO3薄膜的方法，其特征在于：其为菱方结构，空间点群为R-3m(166)，晶胞参数晶粒尺寸大小为20～70nm。
3.根据权利要求1或2所述的高介电常数的Bi1-xDyxFeO3薄膜的方法，其特征在于：包括Bi0.94Dy0.06FeO3薄膜和Bi0.92Dy0.08FeO3薄膜；并且在1kHz～1MHz频率范围内，Bi0.94Dy0.06FeO3薄膜的介电常数为152.8～141.2，Bi0.92Dy0.08FeO3薄膜的介电常数为241.6～215.7。
4.一种如权利要求1-3中任意一项所述的高介电常数的Bi1-xDyxFeO3薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤1：按摩尔比为(1.05-x):1:x将Bi(NO3)3·5H2O、Fe(NO3)3·9H2O和Dy(NO3)3·6H2O溶于由乙二醇甲醚和醋酸酐混合而成的混合液中，搅拌均匀，得到前驱液；其中，前驱液中总的金属离子浓度为0.25～0.35mol/L，x=0.06～0.08；
步骤2：将前驱液旋涂在FTO/glass基片上制备湿膜，湿膜经匀胶后在180～210℃下烘烤得干膜，再在540～550℃退火，得到Bi1-xDyxFeO3薄膜；
步骤3：待Bi1-xDyxFeO3薄膜冷却后，再在Bi1-xDyxFeO3薄膜上重复步骤2，使Bi1-xDyxFeO3薄膜达到所需厚度，即得到高介电常数的Bi1-xDyxFeO3薄膜。
5.根据权利要求4所述的高介电常数的Bi1-xDyxFeO3薄膜的制备方法，其特征在于：所述的步骤1中混合液中乙二醇甲醚和醋酸酐的体积比为(2.5～3.5):1。
6.根据权利要求4或5所述的高介电常数的Bi1-xDyxFeO3薄膜的制备方法，其特征在于：所述的步骤1中x=0.06或0.08。
7.根据权利要求4所述的高介电常数的Bi1-xDyxFeO3薄膜的制备方法，其特征在于：所述的步骤2中先将FTO/glass基片清洗、烘干，然后在紫外光下照射处理，使FTO/glass基片表面达到原子清洁度，最后再旋涂前驱液。
8.根据权利要求4所述的高介电常数的Bi1-xDyxFeO3薄膜的制备方法，其特征在于：所述的步骤2中匀胶时的匀胶速率为3800～4100r/min，匀胶时间为12～15s。
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