[发明专利]沉积源以及具有其的沉积设备

说明书

提供了一种沉积源。所述沉积源包括：坩埚，容纳沉积材料并使沉积材料蒸发；网格构件，设置在坩埚中并与沉积材料分隔开预定的距离，网格构件包括通过网格构件形成的多个开口；格子构件，在坩埚中设置在网格构件上以将网格构件划分成多个格子区域；多个热球，设置在网格构件上并填充格子区域；以及盖，设置在坩埚上以覆盖坩埚，盖包括喷射孔以喷射蒸发的沉积材料。还提供了一种沉积设备，所述沉积设备包括：真空室，真空室包围沉积源；基底；以及基底支撑件。

本申请参考先前于2013年5月2日提交到韩国知识产权局并适时地被指定序号为10-2013-0049517的针对“DEPOSITION SOURCE AND DEPOSITION APPARATUS HAVING THESAME(沉积源以及具有其的沉积设备)”的申请、将该申请包含于此并且要求该申请的所有权益。

技术领域

本公开涉及一种沉积源和一种具有沉积源的沉积设备。

背景技术

近年来，由于有机发光显示器具有优异的亮度和视角，并且不需要包括单独的光源，而液晶显示器需要背光，因此有机发光显示器作为下一代显示装置受到关注。因此，有机发光显示器具有纤薄和重量轻的优点。另外，有机发光显示器具有例如响应速度快、功耗低、亮度高等其他有利的性质。

通常，有机发光显示器包括具有阳极、有机发光层和阴极的有机发光装置。空穴和电子分别通过阳极和阴极注入到有机发光层中，并且在有机发光层中复合以产生激子(电子-空穴对)。激子以光的形式放出能量，其中，光是在激子从激发态返回到基态时而释放的。

阳极和阴极通常由薄金属层或薄透明导电层形成。有机发光层由至少一个有机薄层形成。为了在有机发光显示器上形成有机薄层和金属薄层，使用沉积设备。沉积设备包括填充有沉积材料的坩埚和用于喷射沉积材料的喷嘴。当将坩埚加热至预定的温度时，坩埚中的沉积材料蒸发，通过喷嘴喷射蒸发的沉积材料。在基底上通过喷嘴喷射沉积材料，由此形成薄膜层。

发明内容

本公开提供了一种能够在基底上均匀地沉积薄层的沉积源。

本公开还提供了一种包括该沉积源的沉积设备。

发明构思的实施例提供了一种沉积源，所述沉积源包括：坩埚，容纳沉积材料并使沉积材料蒸发；网格构件，设置在坩埚中并与沉积材料分隔开预定的距离，网格构件包括通过其形成的多个开口；格子构件，在坩埚中设置在网格构件上以将网格构件划分成多个格子区域；多个热球，设置在网格构件上并填充格子区域；以及盖，设置在坩埚上以覆盖坩埚，盖包括喷射孔以喷射蒸发的沉积材料。

热球均可以具有大于开口的最短尺寸的直径，热球的直径在从大约1mm至大约3mm的范围。热球可以由具有大约700摄氏度或更高的熔点的碳化硅纤维形成。

所述网格构件还可以包括：侧表面部分，具有环形形状，并且与坩埚的内壁接触；以及网格网，连接到侧表面部分的内侧表面的下部并设置为面向沉积材料，开口通过网格网形成。

所述格子构件可以包括：多个第一格子构件，沿着第一方向延伸，并且布置为沿着第一水平维度以规则的间隔彼此分隔开；以及多个第二格子构件，沿着与第一方向交叉的第二方向延伸，并且布置为沿着第二水平维度以规则的间隔彼此分隔开，第一格子构件和第二格子构件将网格网划分成格子区域。

第一格子构件和第二格子构件具有比侧表面部分的高度高的高度。第一格子构件和第二格子构件的侧表面的下部连接到侧表面部分的内侧表面，第一格子构件和第二格子构件的下表面连接到网格网。

热球可以设置到网格网并且彼此堆叠以到达第一格子构件和第二格子构件的顶部，堆叠的热球的高度对应于第一格子构件和第二格子构件的高度。