[发明专利]一种超声波雾化等离子体处理装置有效
| 申请号： | 201310718577.1 | 申请日： | 2013-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN103794462B | 公开（公告）日： | 2016-11-23 |
| 发明（设计）人： | 王红卫;沈文凯 | 申请（专利权）人： | 苏州市奥普斯等离子体科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 | 代理人： | 孟宏伟 |
| 地址： | 215011 江苏省苏州市苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 超声波 雾化 等离子体 处理 装置 | ||
【权利要求书】：
1. 一种超声波雾化等离子体处理装置，其特征在于，包括电源、超声波换能器、超声波喷嘴以及电极座，所述超声波换能器上开设有通气孔，所述超声波换能器中还开设有注液孔，所述超声波喷嘴与所述超声波换能器连接设置，所述超声波换能器与所述超声波喷嘴设置于所述电极座上，所述超声波换能器连接高频电源正极，所述电极座接地，所述超声波换能器及所述超声波喷嘴与所述电极座之间设有绝缘层。
2. 根据权利要求1所述的超声波雾化等离子体处理装置，其特征在于，所述注液孔通过通液管道连接设有注射泵。
3. 根据权利要求1所述的超声波雾化等离子体处理装置，其特征在于，所述通气孔连接通气管道。
4. 根据权利要求3所述的超声波雾化等离子体处理装置，其特征在于，所述通气管道上还设有流量调节阀。
5. 根据权利要求1所述的超声波雾化等离子体处理装置，其特征在于，所述高频电源的频率范围为10Khz—100Khz。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州市奥普斯等离子体科技有限公司，未经苏州市奥普斯等离子体科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201310718577.1/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种晶边刻蚀方法
- 下一篇：带OFF/ON功能的小型双电位压力开关
