[发明专利]一种带电粒子的偏转装置

权利要求书

1.一种带电粒子的偏转装置，其特征在于，所述偏转装置包括：偏转电极板和绝缘支撑板（4）；该偏转电极板与绝缘支撑板（4）均为圆形，所述偏转电极板包括顶层偏转电极板（1）、中间偏转电极板（2）和底层偏转电极板（3）；所述顶层偏转电极板（1）的下表面设有若干组同心的环形锯齿结构，所述底层偏转电极板（3）的上表面设有若干组同心的环形锯齿结构，所述中间偏转电极板（2）的上表面和下表面均设有若干组同心的环形锯齿结构；该环形锯齿结构中的所有锯齿均保持同一时针排列，所述锯齿均朝向带电粒子的入射方向；所述底层偏转电极板（3）、中间偏转电极板（2）和顶层偏转电极板（1）由下而上依次平行叠放，并在电极板之间均放置绝缘支撑板（4），所述偏转装置的电极板至少为三层。

2.根据权利要求1所述的带电粒子的偏转装置，其特征在于，所述偏转电极板的直径为205mm，偏转电极板之间的间隔为10mm。

3.根据权利要求1所述的带电粒子的偏转装置，其特征在于，所述环形锯齿结构中的锯齿阳角（5）和锯齿阴角（6）的曲率半径均为0.2mm。

4.根据权利要求1所述的带电粒子的偏转装置，其特征在于，所述偏转电极板由两个半圆形电极板拼合而成。

5.根据权利要求1所述的带电粒子的偏转装置，其特征在于，所述偏转电极板采用低原子序数材料制成。

6.根据权利要求1所述的带电粒子的偏转装置，其特征在于，所述绝缘支撑板（4）采用聚四氟乙烯材料制成。