[发明专利]一种高精度光学反射镜微曲率的测量装置

权利要求书

1.一种高精度光学反射镜微曲率的测量装置，用于检测待测反射镜的曲率，具有：至少一个角度检出器和检出器固定装置；所述的角度检出器通过所述的检出器固定装置固定在与待检测反射镜中垂线垂直的平面上；该平面与反射镜中心的距离为D，0m<D<5m；

工作时，所述的角度检出器向反射镜发射与其所在平面垂直的平行激光光束，接收由反射镜反射的光束，根据反射光角度和检出器与反射镜的相对位置计算得出反射镜曲率；

所述的检出器固定装置具有一个移动固定点和旋转轴；所述的旋转轴位于所述的中垂线上，带动所述的移动固定点在与中垂线垂直的平面上做圆周运动。

2.根据权利要求1所述的一种高精度光学反射镜微曲率的测量装置，其特征还在于：所述的检出器固定装置具有多个固定点，所述的固定点与所述中垂线中心对称；每个固定点设有一所述的角度检出器。

3.根据权利要求2所述的一种高精度光学反射镜微曲率的测量装置，其特征还在于：还具有设置在所述中垂线上，测量反射镜倾斜角度的中央角度检测器。

4.根据项权利要求1或2所述的一种高精度光学反射镜微曲率的测量装置，其特征还在于：所述的角度检出器测量镜片各个位置的反射角度，根据各位置角度的数值及各位置与反射镜中垂线的距离计算得出反射镜的曲率。