[发明专利]一种制备超高纯铝及超高纯铝合金溅射靶材的方法

权利要求书

1.一种制备超高纯铝及超高纯铝合金溅射靶材的方法，其特征在于包括以下步骤：

（1）均匀化：将超高纯铝铸锭或超高纯铝合金铸锭在200℃～500℃，保温24～48小时后，空冷至室温；

（2）模锻：a.将均匀化处理后的铸锭放入椭圆形模具中，沿X方向进行锻压，变形量达到20%～40%；b.将铸锭放入圆形模具中，沿Y方向进行锻压，变形量达到20%～40%；

（3）自由锻：将铸锭从模具中取出，沿Z方向进行锻压，变形量达到70%；

（4）热处理：将锻压后的铸锭在200～400℃条件下进行退火处理；

（5）轧制：将锻压成板材的铝板或纯铝合金板，在室温下进行8～20道次轧制，每道次扎下量不低于25%，X方向与Y方向交替轧制，X方向与Y方向垂直；

（6）热处理：将轧制后的铝板在200～400℃条件下进行退火处理，既消除了内应力，并将材料晶粒细化至200μm以下。

2.如权利要求1所述的制备超高纯铝及超高纯铝合金溅射靶材的方法，其特征在于所述步骤（4）中的退火处理为：以X方向→Y方向→Z+方向热处理为一循环，如此反复8～10次循环。