[发明专利]板状物的加工方法

说明书

技术领域

本发明涉及对板状物磨削后对被磨削面进行蚀刻的板状物的加工方法。

背景技术

例如，在正面形成有多个器件的半导体晶片或光器件晶片等在背面被磨削而变薄至规定的厚度后被分割加工成各个器件，但存在这样的情况：在进行磨削后，为了除去因磨削而产生的磨削形变，而对被磨削面进行蚀刻（参照专利文献1、2）。

现有技术文献

专利文献1：日本特开2004-221175号公报

专利文献2：日本特开2012-106293号公报

然而，在板状物的进行蚀刻后的被磨削面的面内，由于蚀刻速率有波动，因此存在蚀刻后的板状物变得不平坦的情况。并且，由于蚀刻液的种类和蚀刻条件等的不同，而使得蚀刻速率不同。在被磨削面的面内管理蚀刻速率非常困难，因此存在难以通过蚀刻将板状物加工成期望的形状这样的问题。

发明内容

本发明正是鉴于上述情况而完成的，其主要的技术课题在于提供一种即使是蚀刻后的板状物也能够形成得平坦的板状物的加工方法。

本发明的板状物的加工方法的特征在于，所述板状物的加工方法具备：磨削步骤，利用具有磨削磨具的磨削构件对在保持工作台上保持的板状物进行磨削，使所述板状物变薄至规定的厚度，所述保持工作台具有用于保持板状物的保持面；和蚀刻步骤，在实施该磨削步骤后，对板状物的被磨削面进行蚀刻，在所述磨削步骤中，考虑该蚀刻步骤中的蚀刻状态使板状物形成为非平坦形状，以使板状物在实施该蚀刻步骤后变得平坦。

在本发明的加工方法中，考虑蚀刻步骤中的蚀刻状态使板状物形成为非平坦形状，以使板状物在实施蚀刻步骤后变得平坦，因此，蚀刻后的板状物形成得平坦。

本发明包括下述这样的形态，在所述磨削步骤中，在使所述保持工作台的保持板状物的所述保持面和所述磨削磨具的磨削面相对倾斜而不平行的状态下，使该磨削磨具抵接于在该保持工作台上保持的板状物，同时进行磨削，由此使板状物形成为非平坦形状。

另外，本发明包括下述这样的形态，在所述磨削步骤之前具备：蚀刻后形状确认步骤，对平坦的板状物的被磨削面实施蚀刻并确认该蚀刻后的板状物的形状；和磨削完成形状计算步骤，基于在该蚀刻后形状确认步骤中确认的蚀刻后的板状物的形状，计算出使板状物在所述蚀刻步骤后变得平坦的磨削完成形状，在所述磨削步骤中，将板状物磨削成在该磨削完成形状计算步骤中计算出的磨削完成形状。

另外，本发明包括下述这样的形态，所述板状物为圆板状，在所述蚀刻后形状确认步骤中确认的板状物的截面形状为下述形状中的任意一种：板状物的中心的周围为凹状的双凹形状；和板状物的中心的周围为凸状的双凸形状，在所述蚀刻后形状确认步骤中确认的板状物的截面形状是板状物的中心的周围为凹状的双凹形状的情况下，在所述磨削步骤中使板状物的截面形状形成为板状物的中心的周围为凸状的双凸形状，在所述蚀刻后形状确认步骤中确认的板状物的截面形状是板状物的中心的周围为凸状的双凸形状的情况下，在所述磨削步骤中使板状物的截面形状形成为板状物的中心的周围为凹状的双凹形状。

根据本发明，起到了这样的效果：提供一种即使是蚀刻后的板状物也能够形成得平坦的板状物的加工方法。

附图说明

图1是示出实施本发明的一个实施方式涉及的加工方法的磨削步骤的磨削装置的主要部分的立体图。

图2是示出磨削装置的保持工作台及倾斜角度调整构件的侧视图。

图3是示出磨削装置的磨削构件所具备的磨削轮、保持于保持工作台的板状物和倾斜角度调整构件之间的位置关系的俯视图。

图4是示出磨削轮和保持于保持工作台的板状物之间的位置关系的侧视图，（a）示出了磨削轮和保持工作台的旋转轴线平行的状态，（b）示出了在加工区域中保持工作台的保持面相对于磨削轮的磨削面平行的状态。

图5是示出基于不同的蚀刻方法（a）～（d）实现的板状物的蚀刻后形状的四个图案、和与蚀刻后形状对应的磨削完成形状的表。

图6是示出磨削成图5所示的（a）～（d）的磨削完成形状的磨削步骤的剖视图和磨削后的板状物的剖视图。

图7是示出蚀刻步骤的一个例子的立体图。

标号说明

1：板状物；

1c：板状物的被磨削面；

10：磨削构件；

14：磨削磨具；

14a：磨削磨具的磨削面；

20：保持工作台；

22a：保持面。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的一个实施方式进行说明。