[发明专利]一种提高太阳能电池填充的扩散制结方法

权利要求书

1.一种提高太阳能电池填充的扩散制结方法，其制作步骤包括硅片预处理——一次低温扩散——高温推进——出舟，其特征在于还包括二次低温扩散；所述二次低温扩散在高温推进步骤之后、出舟之前进行；所述二次低温扩散时的温度为700℃-800℃。

2.根据权利要求１所述的一种提高太阳能电池填充的扩散制结方法，其特征在于所述二次低温扩散时的温度为750℃。

3.根据权利要求１所述的一种提高太阳能电池填充的扩散制结方法，其特征在于所述二次低温扩散时，温度稳定后，通入携磷源氮气、氧气和氮气进行恒定源扩散，扩散时间为6-8min；所述携磷源氮气的流量为600-800sccm，氧气的流量为600-800sccm，氮气的流量为7-8slm。

4.根据权利要求１所述的一种提高太阳能电池填充的扩散制结方法，其特征在于所述一次低温扩散时，将预处理过的硅片放于扩散炉中，升温至700-800℃，通入携磷源氮气、氧气和氮气进行恒定源扩散，扩散时间为14-16min；所述携磷源氮气的流量为1200-1600sccm，氧气的流量为1200-1300sccm，氮气的流量为7-8slm。

5.根据权利要求１所述的一种提高太阳能电池填充的扩散制结方法，其特征在于所述高温推进时，停止通入携磷源氮气，将温度升至820-850℃，通入氧气和氮气，进行推进，氧气的流量为900-1200sccm，氮气的流量为7-8slm，扩散时间为14-16min。

6.根据权利要求１所述的一种提高太阳能电池填充的扩散制结方法，其特征在于所述磷源为三氯氧磷，源温恒定在19-21℃。