[发明专利]静电卡盘电源电压控制的方法及系统

权利要求书

1.一种静电卡盘电源电压控制的方法，包括以下步骤：

S100，将所述静电卡盘当前电压值升高预设电压升高值，得到新的静电卡盘当前电压值；

S200，等待预设时间后，将所述新的静电卡盘当前电压值继续升高所述预设电压升高值，循环执行本步骤，直至所述新的静电卡盘当前电压值达到预设工艺电压值；

所述预设电压升高值小于等于所述预设工艺电压值。

2.根据权利要求1所述的静电卡盘电源电压控制的方法，其特征在于，在步骤S100之前，还包括以下步骤：

S010，判断静电卡盘的预设工艺电压值是否大于零，是则执行步骤S020，否则执行步骤S030；

S020，设置所述静电卡盘的电源电压为零，并退出所述静电卡盘电源电压的设置；

S030，设置所述静电卡盘当前电压值为零，并设置所述预设电压升高值为预定值。

3.根据权利要求1所述的静电卡盘电源电压控制的方法，其特征在于，在步骤S100之前，还包括以下步骤：

S040，判断所述预设工艺电压值是否大于等于所述新的静电卡盘当前电压值，是则执行步骤S100；否则退出所述静电卡盘电源电压的设置。

4.根据权利要求1或2所述的静电卡盘电源电压控制的方法，其特征在于，所述步骤S200，包括以下步骤:

S210，等待预设时间；

S220，判断所述预设工艺电压值是否大于等于所述新的静电卡盘当前电压值，是则执行步骤S230；否则退出所述静电卡盘电源电压的设置；

S230，将所述新的静电卡盘当前电压值继续升高所述预设电压升高值，并返回执行步骤S210。

5.根据权利要求4所述静电卡盘电源电压控制的方法，其特征在于，所述预设时间为0.1秒。

6.根据权利要求5所述的静电卡盘电源电压控制的方法，其特征在于，所述预设电压升高值根据下面的公式确定：

预设电压升高值=预设工艺电压值/(电压设置时间/预设时间)，

其中，所述电压设置时间为可配置参数。

7.一种静电卡盘电源电压控制的系统，其特征在于，包括第一处理模块及第二处理模块，其中：

所述第一处理模块，用于将所述静电卡盘当前电压值升高预设电压升高值，得到新的静电卡盘当前电压值；

所述第二处理模块，用于等待预设时间后，将所述新的静电卡盘当前电压值继续升高所述预设电压升高值，并循环执行，直至所述新的静电卡盘当前电压值达到预设工艺电压值；

所述预设电压升高值小于等于所述预设工艺电压值。

8.根据权利要求7所述的静电卡盘电源电压控制的系统，其特征在于，还包括预设工艺电压值判断模块，零电压设置模块，参数设定模块，以及当前电压值判断模块，其中：

所述预设工艺电压值判断模块，用于判断静电卡盘的预设工艺电压值是否大于零，是则由所述零电压设置模块进行进一步处理，否则由所述参数设定模块进行进一步的处理；

所述零电压设置模块，用于设置所述静电卡盘的电源电压为零，并退出所述静电卡盘电源电压的设置；

所述参数设定模块，用于设置所述静电卡盘当前电压值为零，并设置所述预设电压升高值为预定值；

所述当前电压值判断模块，用于判断所述预设工艺电压值是否大于等于所述新的静电卡盘当前电压值，是则由所述第一处理模块进行进一步处理；否则退出所述静电卡盘电源电压的设置。

9.根据权利要求7或8所述的静电卡盘电源电压控制的系统，其特征在于，所述第二处理模块包括：延时子模块，比较子模块，以及设置子模块，其中：

所述延时子模块，用于等待预设时间；

所述比较子模块，用于判断所述预设工艺电压值是否大于等于所述新的静电卡盘当前电压值，是则由所述设置子模块进行进一步处理；否则退出所述静电卡盘电源电压的设置；

所述设置子模块，用于将所述新的静电卡盘当前电压值继续升高所述预设电压升高值。