[发明专利]多工作模式的气体流量计及气体流量测量方法

权利要求书

1.一种多工作模式的气体流量计，其特征在于，包括：

依次串联的第一压力计、参考室、比对室以及分流线路、校准室；所述分流线路至少包括两条并联的分路：第一分路和第二分路，每条分路上都具有容积室和连通或断开该分路的阀门，第二分路的容积室后连接有一段小口径连通管，所述小口径连通管的口径小于其所在分路上其它位置处的连接管的口径；所述气体流量计还包括：变容室，通过具有第一截止阀的管路与所述比对室连接，所述变容室容积可变，并且具有可以调节容积室容积的活动结构；

定容室，通过具有第二截止阀的管路连接在所述比对室和分流线路之间；

参考室和比对室之间连接有第三截止阀；差压压力计，连接所述参考室和所述比对室。

2.根据权利要求1所述的多工作模式的气体流量计，其特征在于，

所述分流线路包括并联的三条分路：第一分路、第二分路和第三分路；

第一分路包括依次串联第一阀门、第一容积室、针阀和第二阀门；

第二分路包括依次串联的第三阀门、第二容积室、第一小口径连通管和第四阀门；

第三分路包括依次串联的第五阀门、第三容积室、第二小口径连通管和第六阀门。

3.根据权利要求1所述的多工作模式的气体流量计，其特征在于，

所述多工作模式的气体流量计还包括供气装置，所述参考室与供气装置连通；和/或所述分流线路中的每个所述分路均与校准室连通。

4.根据权利要求1所述的多工作模式的气体流量计，其特征在于，

所述气体流量计还具有抽气系统，连通于所述参考室前。

5.根据权利要求1所述的多工作模式的气体流量计，其特征在于，

所述变容室为波纹管结构，所述活动结构为所述波纹管的管壁。

6.根据权利要求2所述的多工作模式的气体流量计，其特征在于，

所述第一容积室为连通所述第一阀门和所述针阀的管路；

所述第二容积室为连通所述第三阀门和所述第一小口径连通管的管路；

所述第三容积室为连通所述第五阀门和所述第二小口径连通管的管路。

7.根据权利要求1所述的多工作模式的气体流量计，其特征在于，

所述小口径连通管的孔径为5-10微米。

8.一种基于如权利要求1-7任一所述的多工作模式的气体流量计的气体流量测量方法，其特征在于，

步骤一：对所述多工作模式的气体流量计进行抽气至预设真空度；

步骤二：打开第二截止阀，打开第一分路上的阀门，关闭第二分路上的阀门，向所述多工作模式的气体流量计中充入气体；

步骤三：待所述多工作模式的气体流量计内参考室、比对室和定容室内的气压稳定后，将所述多工作模式的气体流量计内的气体引入校准室，然后使用所述第一压力计测量预设时长内比对室内的压力变化值，并采用下式计算气体流量

Q=VΔPΔt;]]>

其中，Q为气体流量；V为所述参考室、比对室、定容室、第一分路上的容积室以及他们之间连接管路的总容积；Δt为所述参考室、比对室、定容室、第一分路上的容积室以及他们之间连接管路中压力变化所用的时间；Δp为所述参考室、比对室、定容室、第一分路上的容积室以及他们之间连接管路内的压力变化值。