[发明专利]压力传感器有效
申请号: | 201310724382.8 | 申请日: | 2013-12-24 |
公开(公告)号: | CN104075838B | 公开(公告)日: | 2018-02-13 |
发明(设计)人: | 高月修;青山伦久;向井元桐;住吉雄一朗 | 申请(专利权)人: | 株式会社不二工机 |
主分类号: | G01L7/18 | 分类号: | G01L7/18 |
代理公司: | 上海市华诚律师事务所31210 | 代理人: | 梅高强,刘煜 |
地址: | 日本国东京都世*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 压力传感器 | ||
1.一种压力传感器,其特征在于,具有:
压力检测元件;
基座,该基座的内表面固定有所述压力检测元件;
承受部件,该承受部件与所述基座相对配置;
膜片,该膜片被所述基座和所述承受部件夹持;
夹持部件,该夹持部件对夹持有所述膜片状态的所述基座及所述承受部件进行夹持,以防止两者互相分离,该夹持部件从所述基座及所述承受部件中的任意一方侧安装,在向使两者互相受推压的方向施加负荷的状态下被焊接接合在所述基座及所述承受部件的另一方侧上;以及
液体,该液体封入在所述基座与所述膜片之间的空间,并将所述承受部件与所述膜片之间空间内的压力传递至所述压力检测元件,
所述夹持部件具有:圆筒部,该圆筒部具有比夹持所述膜片状态的所述基座及所述承受部件的外径大的内径;外周部,该外周部与所述圆筒部的上部连续设置,并具有相对于所述圆筒部的中心轴垂直的平面;以及倾斜部,该倾斜部通过所述外周部而与所述圆筒部的上部连续形成,并设成向所述中心轴方向倾斜,在所述倾斜部和所述外周部连结的部分的内壁与所述基座及所述承受部件中的一方之间形成空隙,并且,在所述倾斜部产生弹力而使所述基座和所述承受部件互相受推压的状态下,所述夹持部件被焊接接合在所述基座及所述承受部件中的另一方侧上。
2.如权利要求1所述的压力传感器,其特征在于,施加所述负荷以对形成于所述夹持部件与所述基座或所述承受部件一方之间的空隙进行压缩。
3.如权利要求1或2所述的压力传感器,其特征在于,在如下状态下对所述夹持部件进行焊接接合:向所述基座和所述承受部件互相受推压的方向,将所述负荷施加在所述基座及所述承受部件中的另一方的周缘部和所述平面。
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