[发明专利]减小器壁出气误差的工作用容积测量装置及方法

权利要求书

1.一种减小器壁出气误差的工作用容积测量装置，其特征在于，包括工作用容积体和参考容积体，所述工作用容积体和所述参考容积体通过第一阀门连接，所述参考容积体通过第二阀门连接有第一非蒸散型吸气剂泵，所述参考容积体通过第三阀门连接有抽气系统，所述工作用容积体通过第四阀门连接有第二非蒸散型吸气剂泵，所述工作用容积体连接有真空计。

2.根据权利要求1所述的减小器壁出气误差的工作用容积测量装置，其特征在于，所述工作用容积体通过第五阀门与气源连接。

3.根据权利要求2所述的减小器壁出气误差的工作用容积测量装置，其特征在于，所述第一阀门、所述第二阀门、所述第三阀门、所述第四阀门及所述第五阀门均为真空阀门。

4.根据权利要求1-3任一项所述的减小器壁出气误差的工作用容积测量装置，其特征在于，所述真空计为磁悬浮转子真空计。

5.一种采用权利要求1-4任一项所述的减小器壁出气误差的工作用容积测量装置的容积测量方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1：关闭所述第二阀门及所述第四阀门，开启所述第一阀门、所述第三阀门及所述抽气系统，对所述工作用容积体和所述参考容积体进行抽气；

步骤2：抽至所述工作用容积体和所述参考容积体内极限真空度达到设定数量级时，开启所述第二阀门及所述第四阀门，并激活所述第一非蒸散型吸气剂泵和所述第二非蒸散型吸气剂泵，在所述第一非蒸散型吸气剂泵和所述第二非蒸散型吸气剂泵激活完毕后关闭所述第二阀门和所述第四阀门；

步骤3：开启所述真空计，并使所述真空计至少稳定预定时长后，关闭所述第一阀门和所述第三阀门，相应开启所述第二阀门及所述第四阀门，通过所述第一非蒸散型吸气剂泵、所述第二非蒸散型吸气剂泵相应的选择性抽除所述工作用容积体及所述参考容积体壁面脱附的活性气体，维持所述工作用容积体及所述参考容积体内静态压力；

步骤4：向所工作用容积体充入预定量的惰性气体，稳定第一设定时长后，通过所述真空计获得所述工作用容积体的真空度p₁；

步骤5：开启所述第一阀门，使所述工作用容积体内的所述惰性气体膨胀至所述参考容积体，稳定第二设定时长后，通过所述真空计获得所述工作用容积体的真空度p₂；

步骤6：由所述p₁、所述p₂及所述参考容积体的容积值，根据波义耳-马略特定律获得所述工作用容积体的容积值。

6.根据权利要求5所述的容积测量方法，其特征在于，所述惰性气体的压力为0.1Pa-1Pa数量级；和/或，所述极限真空度的设定数量级为10^-6Pa。

7.根据权利要求5或6所述的容积测量方法，其特征在于，所述预定时长至少为4小时。

8.根据权利要求5或6所述的容积测量方法，其特征在于，所述第一设定时长至少为50秒。

9.根据权利要求5或6所述的容积测量方法，其特征在于，所述第二设定时长至少为50秒。

10.根据权利要求5或6所述的容积测量方法，其特征在于，所述惰性气体为氩气或氦气。