[发明专利]用于银制品表面防护涂层的制备方法

权利要求书

1.一种用于银制品表面防护涂层的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

（1）用真空泵将反应腔抽到20hPa以下的低真空并加热到特定反应温度，再用纯度为5N的高纯氮清洗反应腔；

（2）将银制品分别依次在丙酮、无水乙醇和高纯去离子水中超声清洗10-30分钟，以竖直放置方式置于温度为100℃的真空干燥箱中40分钟后取出；

（3）将清洗好的银制品放入反应腔，待反应腔温度达到反应温度；铝前驱体通入的若干秒的高纯氮气脉冲进入反应室，通过化学吸附到银制品上，再通入若干秒高纯氮气脉冲清除银制品上和反应腔中过量的铝前驱体；然后通入若干秒水蒸汽脉冲，化学吸附到第一反应物质，再用若干秒高纯氮气脉冲清洗掉多余的水蒸汽；上述过程完成一个循环的氧化铝薄膜的沉积；

（4）在多个氧化铝沉积的循环后，即在银制品上完成了氧化铝防护涂层的沉积。

2.根据权利要求1所述用于银制品表面防护涂层的制备方法，其特征在于，步骤（1）和步骤（3）所述的反应温度为100～200℃。

3.根据权利要求1所述用于银制品表面防护涂层的制备方法，其特征在于，步骤（3）所述的铝前驱体为三甲基铝，通入三甲基铝的脉冲时间至少为0.1s，清洗三甲基铝的脉冲时间至少为3s，通入水蒸汽的脉冲时间至少为0.1s，清洗水蒸汽的脉冲时间至少为4s。

4.根据权利要求1所述用于银制品表面防护涂层的制备方法，其特征在于，所述多个为100～1000个沉积氧化铝的循环。