[发明专利]一种浸渍提拉镀膜设备以及浸渍提拉镀膜方法

权利要求书

1.一种浸渍提拉镀膜设备，其特征在于，包括：

提拉机构，包括驱动电机以及精密直线传动装置，所述精密直线传动装置与所述驱动电机相连；

样品夹持机构，其一端与所述提拉机构相连，另一端与一待镀膜的样品相连；以及

全自动多参数控制系统，与所述提拉机构相连；

其中，所述驱动电机的转动带动所述精密直线传动装置在垂直方向的直线运动，所述精密直线传动装置在垂直方向的直线运动带动所述样品夹持机构在垂直方向的直线运动，进而实现将待镀膜样品进入或脱离镀膜溶液；所述全自动多参数控制系统控制所述待镀膜样品的镀膜参数。

2.根据权利要求1所述的浸渍提拉镀膜设备，其特征在于，所述精密直线传动装置包括：

基座；

直线滑动导轨，固定在所述基座上，所述直线滑动导轨包括导轨及滑块，所述滑块在所述导轨上滑动；

高精度丝杆装置，包括丝杆及螺母，所述螺母与所述滑块相连，且所述丝杆的一端与所述驱动电机相连；

丝杆支撑座，安装在所述基座上，并置于所述丝杆的两端，通过所述丝杆支撑座固定并支撑所述丝杆转动；

其中，所述驱动电机的转动带动所述丝杆转动，通过所述丝杆的转动带动所述螺母和所述滑块在垂直方向的直线运动。

3.根据权利要求2所述的浸渍提拉镀膜设备，其特征在于，所述精密直线传动装置还包括第一连接块，所述螺母与所述滑块通过所述第一连接块连接。

4.根据权利要求1所述的浸渍提拉镀膜设备，其特征在于，所述精密直线传动装置包括：

两个支撑座；

两块端板，且所述两块端板分别设置在所述精密直线传动装置的两端；

一带有丝杆螺母的研磨级精密静音丝杆，所述研磨级精密静音丝杆垂直固定在所述精密直线传动装置的中间位置，所述研磨级精密静音丝杆的两端通过所述支撑座分别固定在所述两块端板上；所述研磨级精密静音丝杆两侧等距离各安装一条直线光轴，所述直线光轴分别与所述两块端板连接，且所述直线光轴上分别设置有一直线轴承；

其中，通过一第二连接块将所述丝杆螺母和两侧的直线轴承连接并固定在一起，所述研磨级精密静音丝杆的末端连接一驱动电机；通过所述驱动电机的转动带动所述研磨级精密静音丝杆的转动，并通过所述丝杆螺母和连接固定的直线轴承在垂直方向的直线运动。

5.根据权利要求1或2或4所述的浸渍提拉镀膜设备，其特征在于，所述浸渍提拉镀膜设备还包括仪器外壳和安装底座，所述安装底座安装固定驱动电机和精密直线传动装置，且所述提拉机构以及全自动多参数控制系统，设置在所述仪器外壳内。

6.根据权利要求5所述的浸渍提拉镀膜设备，其特征在于，所述仪器外壳上设置有垂直提拉孔槽，所述第一连接块或所述第二连接块通过所述垂直提拉孔槽伸展至所述仪器外壳外部。

7.根据权利要求6所述的浸渍提拉镀膜设备，其特征在于，所述样品夹持机构包括水平悬臂、垂直提拉杆以及样品夹具；其中，所述水平悬臂与所述第一连接块或所述第二连接块伸展至所述仪器外壳外部的一端相连，所述垂直提拉杆垂直固定于所述水平悬臂上，且所述垂直提拉杆的下端固定所述样品夹具，待镀膜的样品与所述样品夹具相连。

8.根据权利要求7所述的浸渍提拉镀膜设备，其特征在于，所述浸渍提拉镀膜设备整体为“L”型结构，所述“L”型浸渍提拉镀膜设备的竖直部分放置所述提拉机构和所述样品夹持机构，所述“L”型浸渍提拉镀膜设备的水平部分为所述安装底座和所述全自动多参数控制系统；所述样品夹具为夹口可调型夹具或一体式“∏”型夹具，且所述浸渍提拉镀膜设备的样品夹具为单样品夹具或多样品夹具，所述垂直提拉杆的数量与所述样品夹具的数量一致。

9.根据权利要求1所述的浸渍提拉镀膜设备，其特征在于，所述全自动多参数控制系统包括电路系统和触摸屏，所述电路系统控制所述待镀膜样品的镀膜参数，所述触摸屏显示控制界面并进行参数选择操作。

10.根据权利要求1所述的浸渍提拉镀膜设备，其特征在于，所述镀膜参数包括所述提拉镀膜流程中的下降速度、浸渍时间、提拉速度、镀膜尺寸、镀膜次数、不同次数的间隔时间；且所述提拉镀膜流程中的各个参数均连续可调。

11.一种浸渍提拉镀膜方法，利用如权利要求1所述的浸渍提拉镀膜设备进行浸渍提拉镀膜，其特征在于，包括以下步骤：

（1）、将待镀膜样品固定在样品夹持机构上，并将盛有镀膜溶液的器皿放置在待镀膜样品的正下方；

（2）、启动提拉机构，通过控制提拉机构的升降调节样品夹持机构的起始位置；

（3）、通过所述全自动多参数控制系统设置镀膜程序的参数；

（4）、镀膜样品自动镀膜，镀膜程序设定后，进入自动运行界面，待镀膜样品按照设定好的程序自动运行，完成镀膜工艺的下降、浸渍、提拉镀膜三个过程，镀膜过程进行时，各个参数的实际运行值实时显示在自动运行界面，整个镀膜过程完成后，镀膜样品回到起始位置。