[发明专利]二氧化碳气体传感器及其制备方法

权利要求书

1.二氧化碳气体传感器，包括衬底（1），所述衬底（1）的上表面设置有叉指电极（2），其特征在于：所述叉指电极（2）表面沉积有颗粒状支撑体形成的非连续薄膜（4），所述非连续薄膜（4）表面沉积有氧化石墨烯构成的二氧化碳敏感薄膜（3），所述二氧化碳敏感薄膜（3）通过颗粒支撑体之间的间隙与叉指电极（2）接触。

2.如权利要求1所述的二氧化碳气体传感器，其特征在于：所述颗粒状支撑体为氧化锌颗粒。

3.如权利要求1或2所述的二氧化碳气体传感器，，其特征在于：所述衬底（1）采用二氧化硅或硅材料制作而成。

4.二氧化碳气体传感器的制备方法，其特征在于包括以下步骤：

A、制备醋酸锌溶胶；

B、将醋酸锌溶胶沉积在叉指电极（2）上，所述叉指电极（2）固定在衬底（1）上；

C、将沉积有醋酸锌溶胶的叉指电极（2）放置在高温环境中，醋酸锌溶胶被氧化形成氧化锌颗粒；

D、将氧化石墨烯溶液沉积在经过步骤C处理后的叉指电极（2）表面，并进行干燥处理。

5.如权利要求4所述的二氧化碳气体传感器的制备方法，其特征在于：在步骤A中，采用溶胶凝胶法制备醋酸锌溶胶，具体如下：将适量的二水合乙酸锌溶于定量的无水乙醇中，然后加入定量的乙醇胺作为稳定剂并搅拌一段时间得到前驱液，然后加入冰醋酸和氨水形成醋酸锌溶胶。

6.如权利要求5所述的二氧化碳气体传感器的制备方法，其特征在于：在步骤B中，将醋酸锌溶胶通过气喷成膜的工艺沉积在叉指电极（2）上。

7.如权利要求6所述的二氧化碳气体传感器的制备方法，其特征在于：在步骤C中，将沉积有醋酸锌溶胶的叉指电极（2）放置在温度为300℃的环境中，醋酸锌溶胶被氧化形成氧化锌颗粒。

8.如权利要求7所述的二氧化碳气体传感器的制备方法，其特征在于：在步骤D中，将氧化石墨烯溶液通过气喷成膜的工艺沉积在经过步骤C处理后的叉指电极（2）表面。

9.如权利要求8所述的二氧化碳气体传感器的制备方法，其特征在于：在步骤D中，所述干燥处理采用真空干燥的方式，并且所述真空干燥的时间为两天。