[发明专利]一种多波长激光合束选通调试方法有效
申请号: | 201310730999.0 | 申请日: | 2013-12-26 |
公开(公告)号: | CN103713390A | 公开(公告)日: | 2014-04-09 |
发明(设计)人: | 孔晨晖;张运海 | 申请(专利权)人: | 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所 |
主分类号: | G02B27/10 | 分类号: | G02B27/10;G02F1/11;G02B21/06;H01S5/40 |
代理公司: | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人: | 宋鹰武;沈祖锋 |
地址: | 215163 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 波长 激光 合束选通 调试 方法 | ||
1.一种多波长激光合束选通调试系统,其特征在于,包括:多路激光器、分别与所述激光器对应设置的二色镜、声光调制器、可变针孔、可调中性滤光片、中性半透半反镜、第一CCD、聚焦透镜及第二CCD;
其中,所述多个二色镜的透射性能和反射性能与对应的所述激光器相对应,以保证当前激光反射上述二色镜而后面的所有光束透射该二色镜;所述声光调制器用于对通过的光束的波长进行选择,对通光光强进行调节,所述可变针孔用于对通光口径进行调节,所述可调中性滤光片用于对各波长激光透光率进行调节;
所述多路激光器中的第一激光器发射的第一光束经对应的第一二色镜反射,经所述第一二色镜后的第一光束依次通过所述声光调制器、所述可变针孔和所述可调中性滤光片到达所述中性半透半反镜,由所述中性半透半反镜反射后第一光束经所述第一CCD后形成第一图像A,由所述中性半透半反镜透射后第一光束经所述聚焦透镜后聚焦于所述第二CCD并形成第一图像B;
所述多路激光器中的第二激光器发射的第二光束经对应的第二二色镜反射后再透射所述第一二色镜,经所述第一二色镜后的第二光束依次通过所述声光调制器、所述可变针孔和所述可调中性滤光片到达所述中性半透半反镜,由所述中性半透半反镜反射后第二光束经所述第一CCD后形成第二图像A,由所述中性半透半反镜透射后第二光束经所述聚焦透镜后聚焦于所述第二CCD并形成第二图像B,所述第一图像A与所述第二图像A重合,所述第一图像B与所述第二图像B重合。
2.根据权利要求1所述的多波长激光合束选通调试系统,其特征在于,所述可变针孔的通光口径可变范围0.5mm~10mm。
3.根据权利要求1所述的多波长激光合束选通调试系统,其特征在于,所述可调中性滤光片对各波长激光透光率为1/100~1/10000。
4.根据权利要求1所述的多波长激光合束选通调试系统,其特征在于,所述第一CCD的感光区域大于激光光斑直径,总像素数为600×800。
5.根据权利要求1所述的多波长激光合束选通调试系统,其特征在于,所述第二CCD的像元尺寸小于5μm,总像素数为600×800。
6.一种多波长激光合束选通调试方法,其特征在于,包括下述步骤:
步骤S110:安装多个所述激光器和与所述激光器对应设置的二色镜,且使所有光束同轴并通过所述声光调制器;
步骤S120:调试所述声光调制器,使所有波长激光发生衍射,调整所述激光器和所述二色镜工使衍射光重合;
步骤S130:以所述第一激光器发射的第一光束作为合束基准,在所述声光调制器后依次放置所述可变针孔、所述可调中性滤光片、所述中性半透半反镜、所述第一CCD、所述聚焦透镜和所述第二CCD,其中,所述可变针孔位于光束中心,所述第二CCD位于所述聚焦透镜焦点处;
步骤S140:调节所述可调中性滤光片使所述第一CCD和所述第二CCD都能成像,且所述第一CCD对近场光斑形状成像,可监测光束近点位置,所述第二CCD对光斑聚焦点成像,可监视光束方向;
步骤S150:以第一光束分别在所述第一CCD和所述第二CCD的形成的第一图像A和第一图像B为基准进行合束,通过调节所述第二激光器和所述第二二色镜,使所述第二光束在所述第一CCD上形成的第二图像A与所述第一图像A重合,使所述第二光束在所述第二CCD上形成的第二图像B与所述第一图像B重合,完成所述第一激光器和所述第二激光器的合束;
步骤S160:依上述方法对多路激光器中的其他激光器进行合束。
7.根据权利要求6所述的一种多波长激光合束选通调试方法,其特征在于,采用所述激光器的工装对所述激光器进行调节,所述激光器的工装包括左右和俯仰两个方向的调节机构;采用所述二色镜的工装对所述二色镜进行调节,所述二色镜的工装包括左右和俯仰两个方向的调节机构,而使所有光束同轴并通过所述声光调制器。
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