[发明专利]光学三角测头的光路系统

权利要求书

1.一种光学三角位移测头的光路系统，包括聚焦光路系统和成像光路系统，其中，光源发出的光束通过聚焦光束系统照射在待测物体表面上，通过漫反射或者散射，该光束通过成像光学系统在检测器上成像，并且

所述成像光路系统在聚焦平面上成放大的像。

2.如权利要求1所述的光路系统，其中所述光学三角位移测头为白光三角测头。

3.如权利要求1所述的光路系统，其中所述聚焦光路系统在距离为聚焦透镜组80mm位置的聚焦平面得到直径大约10微米的微小光点。

4.如权利要求1所述的光路系统，其中所述成像光路系统成放大至少3倍的像。

5.一种光学三角位移测头的成像方法，

光源发射器发出的光通过光束准直和聚焦透镜组投射到待测物体表面上，通过漫反射或者散射，光束反射回到测头并通过成像透镜组后，在各自的线阵CCD上成像，

其中所述成像光路系统在聚焦平面上成放大的像。

6.如权利要求5所述的成像方法，其中所述光学三角位移测头为白光三角测头。

7.如权利要求5所述的成像方法，其中所述聚焦光路系统在距离为聚焦透镜组80mm位置的聚焦平面得到直径大约10微米的微小光点。

8.如权利要求5所述的成像方法，其中所述成像光路系统成放大至少3倍的像。