[发明专利]一种OLED器件及其制造方法有效
申请号: | 201310734417.6 | 申请日: | 2013-12-27 |
公开(公告)号: | CN104752612B | 公开(公告)日: | 2017-02-08 |
发明(设计)人: | 祝晓钊 | 申请(专利权)人: | 昆山国显光电有限公司 |
主分类号: | H01L51/50 | 分类号: | H01L51/50;H01L51/52;H01L51/56 |
代理公司: | 北京汇泽知识产权代理有限公司11228 | 代理人: | 马廷昭 |
地址: | 215300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 oled 器件 及其 制造 方法 | ||
技术领域
本发明有关一种有源矩阵有机发光显示器(AMOLED)器件及其制造方法,尤其涉及一种可有效降低阴极电阻的OLED(有机发光显示器)器件及其制造方法。
背景技术
有机发光显示器件由于其色饱和度高、对比度高、响应速度快而被认为是下一代平板显示装置。有机发光显示器件按照以下原理产生光:对器件施加电信号后,从阳极注入的空穴移动到发光层,从阴极注入的电子也移动到发光层,在发光层中,空穴和电子结合以形成激子,当激子从激发态变化到基态时,会发射光子,从而产生光。
AMOLED显示器件具有两种结构,一种是底发光器件,仅仅朝底部基板发射光,另一种是顶发光器件,朝顶部非基板侧发射光。由于用于控制各个像素的薄膜晶体管布置在有机发光器件下面,所以顶发光OLED结构具有更大的开口率,所以越来越多的OLED器件采用顶发光结构。然而在顶发光OLED器件中,为了保证出光率,要求阴极透光率较高,因此阴极一般比较薄,所以阴极具有较高的电阻,从而会造成IR压降(阴极电阻导致的电压降)。
发明内容
有鉴于此,本发明的主要目的在于提供一种能有效降低阴极电阻的OLED器件及其制造方法。
为达到上述目的,本发明提供一种OLED器件,其包括有基板及镀于该基板上的阳极,该阳极上方沉积有网格形状的隔离柱层,该隔离柱层上沉积一层网格形状或条纹形状的导电膜,在该阳极上方位于该隔离柱层所限定的网格内蒸镀有有机层,该有机层及导电膜上方蒸镀有阴极。
所述导电膜为非金属导电膜或金属导电膜。
所述非金属导电膜的材料为石墨烯、碳纳米管膜、导电高分子、氧化铟锡或氧化铟锌透明导电材料。
所述金属导电膜的材料为银、铜、金、铝、纳、钼、钨、锌、镍、铁、铂、锡或铅或其中至少两者的合金。
本发明还提供一种OLED器件制造方法,该方法包括:
(1)在基板上方镀上阳极;
(2)在阳极上方沉积一层网格形状的隔离柱层,在隔离柱层上方沉积一层网格形状或条纹形状的导电膜;
(3)在隔离柱层所限定的网格内蒸镀有机层;
(4)在所述有机层与网格形状或条纹形状的导电膜上方蒸镀一层阴极。
所述步骤(2)具体包括:
在所述阳极上沉积一层隔离柱层,在该隔离柱层上方沉积一层导电膜;
对导电膜进行刻蚀,形成导电网格或者导电条纹,之后利用光刻技术将隔离柱层刻蚀成网格形状,刻蚀后的导电膜沉积在刻蚀后的隔离柱层上方。
所述步骤(2)具体包括:
在所述阳极上沉积一层隔离柱层;
将隔离柱层刻蚀成网格形状;
在网格形状的隔离柱层上沉积一层导电膜;
将导电膜刻蚀成网格形状或者条纹形状,网格形状或者条纹形状的导电膜覆盖在刻蚀后的隔离柱层上。
所述导电膜为金属导电膜或非金属导电膜。
所述非金属导电膜的材料为石墨烯、碳纳米管膜、导电高分子、氧化铟锡或氧化铟锌透明导电材料。
所述金属导电膜的材料为银、铜、金、铝、纳、钼、 钨、锌、镍、铁、铂、锡或铅或其中至少两者的合金。
本发明中在Pillar层上方形成透明的非金属导电网格或者不透明金属导电网格,并与阴极接触导通,从而降低阴极的电阻,有效防止或者减轻由于阴极薄导致的IR压降问题,同时可以使阴极做的更薄。
附图说明
图1为本发明中导电网格形成在Pillar层上的结构示意图;
图2为本发明的OLED器件实施例一结构示意图;
图3为本发明的OLED器件实施例二结构示意图;
图4为本发明的OLED器件制造方法流程图。
具体实施方式
为便于对本发明的结构及方法及达到的效果有进一步的了解,现结合附图并举较佳实施例详细说明如下。
结合图1、图2与图4所示,本发明OLED器件制造方法的实施例一:
首先在基板上利用磁控溅射的方法镀上一层阳极反射层银和氧化铟锡(ITO,Indium Tin Oxides)膜层,该阳极反射层银和ITO膜层作为阳极,然后在阳极上沉积一层Pillar(隔离柱)材料,该Pillar材料为聚酰亚胺类材料,在Pillar层上方沉积一层厚度为0.1nm~500nm的非金属导电膜,此处非金属导电膜的材料可为石墨烯、碳纳米管膜、导电高分子、ITO或IZGO(氧化铟锌)等导电性较好的透明导电材料。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择