[发明专利]头芯片、头芯片的制造方法、液体喷射头、液体喷射装置

说明书

技术领域

本发明涉及喷出液滴的液体喷射头的头芯片(head chip)、及头芯片的制造方法、以及使用所述头芯片的液体喷射头以及液体喷射装置。

背景技术

一直以来，在液体喷射头的头芯片中，在将形成有多个喷嘴孔的喷嘴板接合于形成有多个喷出槽的促动器板时，为了将喷嘴板的喷嘴孔对位于促动器板的喷出槽，在喷嘴板形成与喷嘴孔不同的孔等对位基准，使用其进行促动器板与喷嘴板的对位(例如，参照专利文献1、2)。

在专利文献1中，在将喷嘴板设置于促动器板中的多个喷出槽的长度方向末端侧的边射(edge shoot)类型的头芯片中，对于在喷出槽的排列方向两侧处设于其外侧方的虚设(dummy)槽，将横断虚设槽末端周缘的多个小孔形成于喷嘴板，从该小孔检测虚设槽的末端周缘，从而进行促动器板与喷嘴板的对位。

在专利文献2中，在将喷嘴板设置于促动器板一侧面的头芯片中，在促动器板的喷出槽组两侧的外侧方、以及喷嘴板的喷嘴孔组两侧的外侧方，分别形成对准孔，利用这些对准孔进行促动器板与喷嘴板的对位。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平9-20009号公报；

专利文献2：日本特开2002-96473号公报。

发明内容

发明要解决的问题

但是，在上述以往的构成中，在与喷嘴孔远离的位置处进行促动器板与喷嘴板的对位，因而定位基准与喷嘴孔之间的尺寸公差加入，存在影响喷嘴孔的对位精度的问题。另外，在喷嘴板为薄壁的树脂板等的情况下，喷嘴板的热变形所导致的偏移也加入，存在进一步影响所述对位精度的问题。

特别地，在使喷嘴孔与喷出槽的长度方向中间部连通的侧射(side shoot)类型的头芯片中，优选地，将喷嘴孔配置于喷出槽的长度方向中央。即，关于喷出槽的长度方向中央而对称地形成驱动喷出槽的驱动壁、因驱动壁而产生的压力波所传递的喷出槽的形状，在其中央(换言之，促动器板的泵驱动部的中央)设置喷嘴孔，从而高效且稳定地喷出液滴。

然而，对于与喷嘴孔相比长得多的喷出槽，即使欲使喷嘴孔与其长度方向中央正确地对位，在上述以往的构成中也为间接的对位，并且若重叠喷嘴板则喷出槽的长度方向中央变得不明确，实际上喷嘴孔是否配置于所期望的位置是不明确的。

因而，期待如下构造，其在对促动器板和喷嘴板进行对位时，能够将喷嘴孔正确且可靠地对位于喷出槽的长度方向中央。

本发明鉴于上述问题而完成，其目的在于在具备促动器板、盖板以及喷嘴板的头芯片及其制造方法中，能够将喷嘴孔正确且可靠地对位，并且提供使用所述头芯片的液体喷射头以及液体喷射装置。

用于解决问题的方案

作为上述问题的解决方案，本发明的头芯片具备：促动器板，在基板的一侧面排列有多个深度贯通该基板的喷出槽；盖板，所述盖板具有与多个所述喷出槽连通的液体供给室，且设置于所述促动器板的一侧面；以及喷嘴板，排列有多个与所述喷出槽的长度方向中央连通的喷嘴孔，且设置于所述促动器板的另一侧面，其特征在于：所述盖板在与多个所述喷嘴孔中的至少一个隔着所述喷出槽而相向的位置，或者在与所述喷嘴板中的邻接孔隔着形成于所述促动器板的贯通部而相向的位置，具有所述喷嘴板的对位基准，所述邻接孔与多个所述喷嘴孔中的任一个邻接，所述对位基准能够通过所述喷嘴孔以及所述喷出槽，或者通过所述邻接孔以及所述贯通部而从所述喷嘴板侧检测到。

本发明还可以是所述对位基准在所述盖板设有多个的构成。

此时，还可以是如下构成，即，所述对位基准设于所述喷嘴板中的如下位置，所述位置与在喷嘴列的两端侧配置的所述喷嘴孔或所述邻接孔相向，所述喷嘴列包含多个所述喷嘴孔。

在本发明中，所述对位基准可以是设置于所述盖板的贯通孔，或者还可以是设置于所述盖板的光反射部，或者还可以是设置于所述盖板的光透射部。

另外，所述对位基准还可以是设置于所述盖板的凸部，或者还可以是设置于所述盖板的凹部。

而且，还可以是如下构成，即，所述对位基准以跨越多个所述喷嘴孔或所述邻接孔而相向的方式设置。