[发明专利]焦点监测装置和方法

权利要求书

1.一种焦点监测装置，其特征在于，包括可被固定于工件台上的底座、棱镜、挡光板、光电探测器，所述棱镜为一等腰直角体，所述棱镜包括一斜面，所述斜面具有反射膜，所述挡光板紧贴所述棱镜垂直设置，入射光入射至棱镜后被反射到挡光板上，所述挡光板上具有孔或狭缝，使光束到棱镜底面的距离与反射到挡光板的距离相等，所述光电探测器接收从挡光板出射的光。

2.根据权利要求1所述的焦点监测装置，其特征在于，所述光电探测器为CCD。

3.根据权利要求1所述的焦点监测装置，其特征在于，所述光电探测器为光电二极管PD。

4.根据权利要求1所述的焦点监测装置，其特征在于，所述挡光板和光电探测器之间还设置有衰减器件或聚焦镜。

5.根据权利要求4所述的焦点监测装置，其特征在于，还包括支撑衰减器件或聚焦镜的垂向可调节的支撑杆。

6.根据权利要求1所述的焦点监测装置，其特征在于，所述挡光板上的孔或狭缝的尺寸与焦点尺寸相等。

7.根据权利要求6中所述的焦点监测装置，其特征在于，所述孔或狭缝的大小可调。

8.根据权利要求1中所述的焦点监测装置，其特征在于，还包括支撑杆，所述支撑杆垂向可调节，用于支撑光电探测器。

9.利用根据权利要求1-8中任意一个所述的焦点监测装置监测焦点的方法，其特征在于，从光源发出的光束经过待测聚焦镜后进入置于工件台上的监测装置，棱镜将进入监测装置的光束反射至挡光板，光电探测器接收从挡光板出射的光束，当调节焦点位置时，若根据光电探测器测得的能量判断，则光电探测器的读数会经历逐渐变大，数值保持不变，再逐渐变小的过程，其中读数到最大值时，即为焦点位置，读数停留在最大值保持不变的区域为光束焦深范围；若根据光电探测器上的光斑大小判断，则光斑尺寸会经历逐渐变小，保持不变，再逐渐变大的过程，其中光斑最小时，即为焦点位置，光斑尺寸在最小值保持不变的区域为光束焦深范围。