[发明专利]基于正交偏振光的双通道时空混合相移菲佐干涉仪

权利要求书

1.基于正交偏振光的双通道时空混合相移菲佐干涉仪，其特征在于：所述干涉仪包括光源及光源调整单元、分光准直单元、信号提取和时域相移单元、成像单元、空域相移单元、图像采集单元，其中，所述的光源及光源调整单元包括光源（101）、滤光片（102）、偏振调整器（103）和光束扩展透镜与空间滤波组件（104），所述的分光准直单元包括第一非偏振分光棱镜（105）和准直透镜（106），所述的光源（101）、滤光片（102）、偏振调整器（103）、光束扩展透镜与空间滤波组件（104）、第一非偏振分光棱镜（105）、准直透镜（106）和信号提取和时域相移单元（107）沿z方向的正方向依次设置，信号提取和时域相移单元（107）正对待测量物体（108），所述的成像单元为成像物镜（109），所述的空域相移单元包括1/2波片（110）、第二非偏振分光棱镜（111）、x向偏振片（113）和z向偏振片（114），构成双通道，所述的图像采集单元包括x向CCD（115）和z向CCD（116），所述的成像物镜（109）、1/2波片（110）、第二非偏振分光棱镜（111）、x向偏振片（113）和x向CCD（115）沿x方向的正方向依次设置，1/2波片（110）的快轴方向与x方向呈22.5°的夹角，并且所述的第一非偏振分光棱镜（105）处于x方向与z方向相交的交点处，所述的z向偏振片（114）与x向偏振片（113）以所述的第二非偏振分光棱镜（111）为基点，按照相互垂直偏振位置的方向放置，z向偏振片（114）和z向CCD（116）沿与z方向的负方向相平行的方向设置，z向CCD（116）和x向CCD（115）在两个通道上，用于采集待测量物体（108）的具有相移量的干涉条纹图。

2.根据权利要求1所述的基于正交偏振光的双通道时空混合相移菲佐干涉仪，其特征在于：所述第二非偏振分光棱镜（111）和x向偏振片（113）之间还增设有1/4波片（112），该1/4波片（112）的快轴方向与x方向呈45°的夹角，用于采集相移量为90°的条纹图，使得两步算法提取的相位更精确。

3.根据权利要求1或2所述的基于正交偏振光的双通道时空混合相移菲佐干涉仪，其特征在于：所述的信号提取和时域相移单元（107）包括偏振分光棱镜（1071）、可移动平台（1072）和固定平台（1073），所述固定平台（1073）具有压电陶瓷微位移器，可移动平台（1072）安装在固定平台（1073）上，并且与压电陶瓷微位移器相连接，能够在压电陶瓷微位移器驱动下产生相移，所述的偏振分光棱镜（1071）安装在可移动平台（1072）上，与可移动平台（1072）联动，所述的偏振分光棱镜（1071）位于z方向上，位于准直透镜（106）与待测量物体（108）之间，并且正对待测量物体（108）。

4.根据权利要求3所述的基于正交偏振光的双通道时空混合相移菲佐干涉仪，其特征在于：所述的信号提取和时域相移单元（107还增设有反射镜（1074），所述的反射镜（1074）也安装在可移动平台（1072）上，反射镜（1074）正对偏振分光棱镜（1071），并且垂直于y方向。