[发明专利]真空腔室的上盖驱动机构及应用其的真空腔室

说明书

技术领域

本发明涉及半导体设备制造领域，具体地，涉及一种真空腔室的上盖驱动机构及应用其的真空腔室。

背景技术

在半导体、光伏或LED等行业中，半导体设备的真空腔室通常具有上盖，并借助上盖驱动机构驱动上盖开启或关闭真空腔室顶部的开口，以便于对真空腔室的内部进行装配、维护等操作。而且，在上盖与腔室之间还设置有密封圈，通过利用上盖压紧该密封圈，可以使密封圈对上盖与腔室之间的间隙进行密封，从而保证了腔室的密封性。

图1为现有的一种上盖驱动机构。图2为图1中I区域的放大图。请一并参阅图1和图2，上盖驱动机构包括铰链组件103和气弹簧102。其中，铰链组件103包括具有长圆孔（其长度方向为竖直方向）的连接件103a、铰链轴103b和调节螺钉103c，其中，铰链轴103b的一端与上盖104连接，另一端穿过连接件103a的长圆孔，且可沿长圆孔的长度方向（即，竖直方向）滑动；连接件103a固定在真空腔室101的顶部；调节螺钉103c用于调节铰链轴103b在竖直方向上的最大行程。气弹簧102用于在手动开启上盖104时，提供辅助开启上盖104的动力，以减轻操作人员的负担。当将上盖104扣合在真空腔室101上，并对真空腔室101进行抽真空时，上盖104会受到向下的大气压力，此时铰链轴103b沿连接件103a的长圆孔向下滑动，以使上盖104挤压密封圈105，从而实现对腔室的密封。

虽然上述上盖驱动机构可以实现对腔室的密封，但是，其在实际应用中不可避免地存在以下问题，即：

在将上盖104扣合在真空腔室101上的过程中，由于铰链轴103b势必会受到向下的作用力，该作用力会使铰链轴103b在上盖104扣合在真空腔室101上，并挤压密封圈105之前，提前滑动至长圆孔的底部，这种情况虽然在上盖104与真空腔室101之间的开盖角度β较大时不会对密封圈105产生影响，但是，在该开盖角度β较小，即，上盖104快要扣合在真空腔室101上时，上盖104会因铰链轴103b下滑了一段距离而提前挤压和摩擦密封圈105，且在每扣合一次上盖104时都会挤压和摩擦一次密封圈105，从而造成密封圈105的磨损，进而不仅会缩短密封圈105的使用寿命，而且磨损密封圈105所产生的颗粒还会污染真空腔室101，从而降低了真空腔室101的清洁度。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种真空腔室的上盖驱动机构及应用其的真空腔室，其可以在驱动上盖开启或关闭真空腔室顶部的开口的过程中，避免对磨损上盖与腔室之间的密封圈，从而可以提高密封圈的使用寿命。

为实现本发明的目的而提供一种真空腔室的上盖驱动机构，用于驱动上盖开启或关闭真空腔室顶部的开口，所述上盖驱动机构包括传动组件和水平驱动源，其中，所述水平驱动源用于提供水平方向上的直线动力；所述传动组件分别与所述水平驱动源和上盖连接，用以将来自所述水平驱动源的直线动力转换为竖直直线运动和旋转运动的复合运动，并传递给所述上盖。

其中，在所述上盖处于关闭真空腔室顶部的开口的状态，且在对所述真空腔室进行抽真空之前，所述上盖在竖直方向上的当前位置未达到最低位置；所述最低位置为预设的在所述上盖驱动机构的驱动下，允许所述上盖下降达到的最低位置。

其中，所述上盖的当前位置与最低位置之间的竖直间距为1～3mm。

其中，针对直径小于500mm的真空腔室，所述上盖的当前位置与最低位置之间的竖直间距小于1mm。

其中，所述传动组件包括主连杆、辅助连杆、竖直导轨、滑块和第一固定铰链，其中所述主连杆的第一端与所述上盖的一端连接，所述主连杆的第二端与所述水平驱动源的驱动轴连接，并且所述主连杆在其第一位置处通过所述滑块与所述竖直导轨可竖直滑动地连接；所述第一位置为预设的位于所述主连杆的两端之间的位置；所述辅助连杆的第一端与所述主连杆的第二位置铰接，所述第二位置为预设的位于所述主连杆的第一端与所述第一位置之间的位置；所述辅助连杆的第二端通过所述第一固定铰链与所述真空腔室铰接。

其中，所述竖直导轨为光轴，所述光轴竖直地设置在所述真空腔室上；所述滑块具有通孔，且所述滑块通过该通孔套制在所述光轴上。