[发明专利]条形磁铁、磁靶及磁控溅射设备

权利要求书

1.一种条形磁铁，其特征在于，所述条形磁铁在中间区域设有凸起结构。

2.根据权利要求1所述的条形磁铁，其特征在于，所述凸起结构为沿该条形磁铁长度方向设置在所述条形磁铁上的弯折结构。

3.根据权利要求1所述的条形磁铁，其特征在于，所述弯折结构的弯折角度范围为165°～178°。

4.根据权利要求1所述的条形磁铁，其特征在于，所述条形磁铁包括：

外围的S极和内部的N极；

或者，外围的N极和内部的S极。

5.一种磁靶，其特征在于，包括固定板和设置在所述固定板上的如权利要求1～4任一项所述的条形磁铁；所述条形磁铁的凸起结构朝向所述固定板凸起设置。

6.根据权利要求5所述的磁靶，其特征在于，所述磁靶包括多个条形磁铁，所述多个条形磁铁包括间插排布的内部N极、外围S极的条形磁铁和内部S极、外围N极的条形磁铁。

7.根据权利要求5所述的磁靶，其特征在于，所述条形磁铁为永磁铁或电磁铁。

8.根据权利要求5所述的磁靶，其特征在于，所述固定板上设有滑轨，所述条形磁铁以能够在所述滑轨上移动的方式连接在该滑轨上。

9.一种磁控溅射设备，其特征在于，包括靶材、背板和如权利要求5～8任一项所述的磁靶，所述靶材设置在所述背板的一侧，所述磁靶设置在该背板的另一侧。

10.根据权利要求9所述的磁控溅射设备，其特征在于，还包括驱动装置，该驱动装置用于驱动所述条形磁铁沿预设驱动轨迹移动。