[发明专利]柔性CIGS太阳能电池的制备装置

权利要求书

1.柔性CIGS太阳能电池的制备装置，包括真空室，其特征在于：真空室内设置有工作台，工作台外侧设置有将柔性CIGS太阳能电池基板输送至该工作台的推进收纳机构，工作台上安装有加热器，在工作台上侧设置有溅射源和与溅射源对应的两靶材，溅射源通过分别轰击两靶材使工作台的基板上沉积形成吸收层和缓冲层。

2.根据权利要求1所述的制备装置，其特征在于：在工作台上侧水平设置有可旋转的空心筒，空心筒内置所述溅射源，在空心筒外壁沿周向间隔对应设置有吸收层靶材和缓冲层靶材，所述空心筒旋转带动靶材转动。

3.根据权利要求2所述的制备装置，其特征在于：所述工作台为可旋转的水平设置的辊筒，辊筒内安装有所述加热器，在辊筒的一侧设置有所述推进收纳机构，该推进收纳机构将基板推送至辊筒外周壁使其缠绕在辊筒上，并收纳缠绕后的基板；基板随着辊筒转动时，溅射源通过轰击吸收层靶材使基板上沉积形成吸收层；形成吸收层的基板随着辊筒反向转动时，溅射源通过轰击缓冲层靶材使吸收层上沉积形成缓冲层。

4.根据权利要求2所述的制备装置，其特征在于：所述工作台为水平设置的平台，平台两端安装有所述推进收纳机构，在平台下侧安装有所述加热器；当推进收纳机构将基板从平台上侧一端输送至另一端时，溅射源通过轰击吸收层靶材使基板上沉积形成吸收层；当推进收纳机构将沉积有吸收层的基板从平台上侧所述另一端输送至所述一端时，溅射源通过轰击缓冲层靶材使吸收层上沉积形成缓冲层。

5.根据权利要求1至4中任意一项所述的制备装置，其特征在于：所述吸收层靶材通过CIGS粉末压制而成。

6.根据权利要求1至4中任意一项所述的制备装置，其特征在于：所述推进收纳机构包括两滚子，当沉积吸收层时，其中一个滚子装载卷筒基板，并将基板片段推进至工作台，另一个滚子载出基板并将其收成卷；当沉积缓冲层时，所述另一个滚子装载卷筒基板，并将基板片段推进至工作台，所述其中一个滚子载出基板并将其收成卷。