[发明专利]溅射法制备柔性太阳能电池CIGS吸收层和缓冲层的方法有效
| 申请号： | 201310740650.5 | 申请日： | 2013-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN103695851A | 公开（公告）日： | 2014-04-02 |
| 发明（设计）人： | 陈进中;莫经耀;吴伯增;林东东;甘振英 | 申请（专利权）人： | 柳州百韧特先进材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/06;H01L31/18 |
| 代理公司： | 广州凯东知识产权代理有限公司 44259 | 代理人： | 姚迎新 |
| 地址： | 545006 广西壮族自治区*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 溅射 法制 柔性 太阳能电池 cigs 吸收 缓冲 方法 | ||
【权利要求书】：
1.溅射法制备柔性太阳能电池CIGS吸收层和缓冲层的方法,其包括以下步骤：
（1）制备吸收层靶材和缓冲层靶材；
（2）将上述两靶材和对应的溅射源置于加热的真空室内；
（3）在两靶材下侧设置工作台，含有钼电极层的基板可沿工作台移动；
（4）基板沿工作台正向移动时，溅射源由上向下轰击吸收层靶材，使钼电极层上沉积吸收层；
（5）吸收层沉积完成后，基板沿工作台反向移动，溅射源由上向下轰击缓冲层靶材，使吸收层上沉积缓冲层。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述吸收层靶材和缓冲层靶材设置于同一个旋转体上，旋转体内设有溅射源，通过转动旋转体切换吸收层靶材和缓冲层靶材。
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于：所述吸收层靶材由CIGS粉末压制而成。
4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于：将CuCl2、InCl3、GaCl3、Na2Se加入乙二胺中反应合成CIGS粉末。
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