[发明专利]一种铜合金靶材的加工方法在审
| 申请号： | 201310741633.3 | 申请日： | 2013-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN104746020A | 公开（公告）日： | 2015-07-01 |
| 发明（设计）人： | 曾浩;李勇军;何金江;熊晓东;刘书芹;刘红宾;高岩;王欣平 | 申请（专利权）人： | 有研亿金新材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22F1/08 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人： | 陈波 |
| 地址： | 102200*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 铜合金 加工 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种铜合金靶材的加工方法，其特征在于：包含步骤如下：
1）加热炉将高纯铜合金铸锭均匀加热到350～600℃，保温1～3小时；
2）对铸锭分别沿X/Y/Z三方向进行热锻；X、Y为径向且互相垂直，Z为轴向；
3）热锻后坯料在二辊轧机上进行多道次往复冷轧，道次变形量为8%～20%，总变形量为70%～90%；
4）轧后坯料在热处理炉250～450℃范围，保温2～4小时，得到高纯铜合金溅射靶坯。
2.根据权利要求书1所述的一种铜合金靶材的加工方法，其特征在于，所述的铜合金为CuMn或CuAl合金。
3.根据权利要求书1所述的一种铜合金靶材的加工方法，其特征在于，所述的热锻的锻造时间须控制在20min以内，终锻温度为400℃～500℃。
4.根据权利要求书1所述的一种铜合金靶材的加工方法，其特征在于，所述的热锻，拔长镦粗比例为1.5:1～2:1之间。
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