[发明专利]靶材无效
| 申请号： | 201310741861.0 | 申请日： | 2013-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN103898454A | 公开（公告）日： | 2014-07-02 |
| 发明（设计）人： | 多湖雄一郎;小玉健二;尾崎公造 | 申请（专利权）人： | 大同特殊钢株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 靶材 | ||
【权利要求书】：
1.一种靶材，其具备以下构成：
（1）所述靶材被用作用于形成Cu布线的保护膜的靶；
（2）所述靶材包含Nb、Ni、Ti和M作为主要构成元素（其中，M为任意元素），余量由不可避免的杂质组成，
其中，M为选自由V、Zr、Mo、Ta和W构成的组中的任意1种以上元素；
（3）所述主要构成元素满足下式（A）的关系：
Nba（Ni1-xTix）b（M）c···（A）
其中，
20（at%）≤a≤45（at%）、50（at%）≤b≤80（at%）、
0（at%）≤c≤8（at%）、a+b+c=100（at%）、
0.8182≤（1-x）/x≤1.2222。
2.根据权利要求1所述的靶材，其是以包含所述主要构成元素与所述不可避免的杂质、且所述主要构成元素满足所述式（A）的方式配混原料，将配混物熔化、铸造而得到的。
3.根据权利要求1所述的靶材，其中，所述靶材整体所包含的作为所述不可避免的杂质的氧含量小于0.2质量%。
4.根据权利要求2所述的靶材，其中，所述靶材整体所包含的作为所述不可避免的杂质的氧含量小于0.2质量%。
5.根据权利要求1～4任一项所述的靶材，其中，通过缩小Gleeble试验得到的最高收缩值为40%以上、且显示30%以上的收缩值的温度区域为200℃以上。
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