[发明专利]激光扫描热波成像膜厚测量方法

权利要求书

1.一种激光扫描热波成像膜厚测量方法，其特征在于包括如下步骤：

根据被测试件膜层的特性，选择激光器（27）的功率和光束偏转装置（22）的扫描速度；

激光束（23）经光束偏转装置（22）对被测试件（25）表面进行快速扫描，同时采用红外热像仪（26）采集所述被测试件（25）膜层的热波图像；

在所述热波图像中沿着扫描方向选取多个像素值，将所述像素值顺序排列，得到所述被测试件（25）膜层的热波信号变化曲线；

将所述热波信号变化曲线与所述膜层相对应的理论模型进行拟合，得出所述被测试件（25）的膜层厚度。

2.根据权利要求1所述的激光扫描热波成像膜厚测量方法，其特征在于，所述激光束（23）具有线状均匀光斑（24），所述扫描偏转装置（22）进行一维扫描。

3. 根据权利要求1所述的激光扫描热波成像膜厚测量方法，其特征在于，所述激光束（23）具有点状均匀光斑（24），所述扫描偏转装置（22）进行二维扫描。

4.根据权利要求1所述的激光扫描热波成像膜厚测量方法，其特征在于，所述理论模型中的参数由已知厚度的标准试件进行标定。