[发明专利]一种抑制扫描探针显微镜扫描大图时温漂影响的方法

权利要求书

1.一种抑制扫描探针显微镜扫描大图时温漂影响的方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1：将欲扫描图像区域划分为N*N个正方形小图像块，每个小图像块与相邻图像块有部分重叠。每行中相邻图像重叠部分为竖长条形长方形，每列中相邻图像重叠部分为横长条形长方形。

步骤2，采用Z字形依次扫描小图像块。即第一行从左到右依次扫描，第二行从右到左依次扫描，第三行从左到右依次扫描，以此类推。

步骤3，每扫出一幅小图像块，将其与上一幅图像的重叠区域切割提取出来，用相位相关法计算其温漂。

步骤4，将扫描出的多幅小图像块根据其设定的起始扫描位置及其实际温漂量拼接起来。第一幅图像先放置，后面图像块依次放置，放置图像的起始坐标为设定的扫描起始坐标加上前面各图像块温漂之和；在放置时，遇到重叠部分，用后一幅图像覆盖前一幅的重叠部分。

2.根据权利要求1所述抑制扫描探针显微镜扫描大图时温漂影响的方法，其特征在于，所述步骤1具体为：记欲扫描正方形图像区域宽度为L₁，记小图像块的宽度为L₂，划分方法为：每行中相邻小块有部分重叠，记重叠宽度为L₃；此外，每列中相邻小块之间也有部分重叠，重叠宽度亦为L₃。即将边长为L₁的正方形区域划分为N*N个边长为L₂的小正方形图像块，每个小图像块之间有长宽分别为L₂和L₃的长方形的重叠区域。

3.根据权利要求2所述抑制扫描探针显微镜扫描大图时温漂影响的方法，其特征在于，所述重叠宽度由此可得出小图像块的宽度

4.根据权利要求3所述抑制扫描探针显微镜扫描大图时温漂影响的方法，其特征在于，所述步骤2具体为：假设欲扫描大图左上角端点为坐标原点(0,0)，向右为横坐标递增，向下为纵坐标递增。记扫描第n幅小图像块的左上角端点坐标，即起始点坐标，为（Xn,Yn）。扫描第1幅小图像块，其扫描起始点为(0,0)，扫描长宽均为L₂；第2幅小图像块，起始点为扫描长宽均为L₂；第3幅起始点为以此类推；第N+1幅由于达到Z字形扫描的拐点，所以坐标变化在y轴上，其起始点为第N+2幅起始点为依次类推，直到最后一幅小图像块扫描起始点总体来说，对于扫描的第n幅图像，记即a为n除以N后取整，记b=(n)mod(N)，即n除以N后取余。如果a为偶数，则第n幅图像的起始点为如果a为奇数，则第n幅图像的起始点为N、n均为正整数。4、根据权利要求4所述抑制扫描探针显微镜扫描大图时温漂影响的方法，其特征在于，所述步骤3具体为：将扫出的小图像块与上一幅图像的重叠区域切割提取出来，对于第n幅图像块与第n-1幅图像块之间的漂移，记当a为偶数且b不等于1时，重叠部分为横坐标Xn至纵坐标为Yn至Yn+L₂的部分；当a为奇数且b不等于1时，重叠部分为横坐标至Xn+L₂，纵坐标为Yn至Yn+L₂的部分；当b等于1时，重叠部分为横坐标Xn至Xn+L₂，纵坐标为Yn至的部分。