[发明专利]一种覆钪酸盐-钨膜的浸渍型钡钨阴极及其制备方法

权利要求书

1.一种浸渍型钡钨阴极覆钪酸盐-钨膜，其特征在于，基于钡钨阴极表面的覆钪酸盐-钨膜的主要成分为Ba₃Sc₄0₉和金属W，其中Ba₃Sc₄0₉占膜总质量的5%-20%。

2.包含权利要求1所述的覆钪酸盐-钨膜的浸渍型钡钨阴极。

3.覆钪酸盐-钨膜的浸渍型钡钨阴极的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

（1）将Ba₃Sc₄0₉与金属W粉按一定质量比在真空中用球磨的方法混合均匀，其中Ba₃Sc₄0₉占粉末总质量的5%-20%，然后将粉末放入磨具中，压制成型，压制压力为10MPa-20MPa，保压时间为1分钟-2分钟，制得所需靶材；

（2）在钨海绵体中浸渍发射材料，利用步骤（1）制备的Ba₃Sc₄0₉和金属W靶材，在浸渍发射材料的阴极表面采用脉冲激光沉积的方法制备0.1～0.3微米厚的Ba₃Sc₄0₉和金属W复合膜。

4.按照权利要求3的方法，其特征在于，激光单脉冲能量70mJ-100mJ，脉宽10ns，频率1-5Hz。

5.按照权利要求4的方法，其特征在于，频率5Hz。