[发明专利]一种硅片切割液

权利要求书

1.种硅片切割液，其特征为，按重量分数计为：

二乙二醇          65-85份

聚乙二醇          70-85份

分散剂            8-22份

表面活性剂        1-12份

消泡剂            1-3份

鳌合剂            1-8份

去离子水          65-120份。

2.如权利要求1所述的一种硅片切割液，其特征为，优选的，其组成成分按重量分数计为：

二乙二醇          75份

聚乙二醇          75份

分散剂            15份

表面活性剂        7份

消泡剂            3份

鳌合剂            3份

去离子水          100份。

3.如权利要求1或2所述的一种硅片切割液，其特征为，所述分散剂由丙烯酸、乙基丙烯酸、马来酸酐、丙烯酰胺基磺酸以1：1:0.3:0.7的重量比组成。

4.如权利要求1或2所述的一种硅片切割液，其特征为，所述表面活性剂为阴离子表面活性剂与阳离子表面活性剂以1—2:1的重量比组成，所述阴离子表面活性剂为N，N-二甲基-1-十四烷胺氧化物、月桂酰肌胺酸钠、十二烷基二苯醚二磺酸以1:1:1的重量比组成，所述阳离子表面活性剂为氯化硬脂基二甲基苄基铵、四乙基氢氧化铵、四丁基氢氧化铵以1:2:1的重量比组成。

5.如权利要求1或2所述的一种硅片切割液，其特征为，所述消泡剂为聚甲基硅氧烷、聚甲基乙基硅氧烷以1:2的重量比组成。

6.如权利要求1或2所述的一种硅片切割液，其特征为，所述鳌合剂为苯二酚、邻巯基苯酚、连苯三酚以1:1.5:3.5的重量比组成。

7.如权利要求1或2所述的一种硅片切割液，其特征为，其制备方法为：将以上各组分加入搅拌装置中，在35—55°的条件下搅拌30分钟即可。