[发明专利]基于直角棱镜的对角入射光激光外差干涉测量方法与装置

权利要求书

1.一种基于直角棱镜的对角入射光激光外差干涉测量方法，该方法是：

(1)频率分别为f₁、f₂且空间分离的两束平行光束入射到非偏振分光棱镜；

其特征在于：

(2)所述两束平行光入射到非偏振分光棱镜上的入射点位于入射面的对角位置；

(3)频率为f₁的光束被非偏振分光棱镜分为参考光束和测量光束两部分，同时频率为f₂的光束也被非偏振分光棱镜分为参考光束和测量光束两部分；

(4)频率分别为f₁、f₂的两束参考光束入射到参考直角棱镜，并被反射回非偏振分光棱镜；同时频率分别为f₁、f₂的两束测量光束入射到目标端直角棱镜，并被反射回非偏振分光棱镜；

(5)调节参考直角棱镜和目标端直角棱镜，使频率为f₁的参考光束与频率为f₂的测量光束重合并产生干涉信号I_m1；使频率为f₂的参考光束与频率为f₁的测量光束重合并产生干涉信号I_m2；根据两干涉信号I_m1、I_m2计算出目标端直角棱镜的位移量。

2.一种基于直角棱镜的对角入射光激光外差干涉测量装置，该装置包括非偏振分光棱镜(1)、参考直角棱镜(2)、光电探测器A(4)、光电探测器B(5)，所述参考直角棱镜(2)位于非偏振分光棱镜(1)反射光输出端；所述非偏振分光棱镜(1)输出两路干涉测量光束，在其中一路干涉测量光束光路上配置光电探测器A(4)，在另一路干涉测量光束光路上配置光电探测器B(5)；其特征在于该装置还包括目标端直角棱镜(3)，所述目标端直角棱镜(3)位于非偏振分光棱镜(1)的透射光输出端。