[发明专利]静电式微扫描镜的驱动校正装置及其驱动校正方法

权利要求书

1.一种静电式微扫描镜的驱动校正装置，该静电式微扫描镜包括一面镜，用以带动一激光束投射至一投射表面，该驱动校正装置包括：

一电压设定单元，用以依序设定多个不同的参考电压以驱动该面镜摆动；

一图像撷取单元，用以感测该激光束对应该多个参考电压投射至该投射表面的多个投射位置；以及

一信息处理单元，用以依据该些参考电压与其对应的该投射位置建立一驱动查找表，并用以根据该驱动查找表判断多个理想投射位置分别对应的校正驱动电压，以供该电压设定单元根据该些校正驱动电压来驱动该面镜摆动。

2.根据权利要求1所述的静电式微扫描镜的驱动校正装置，其中该些参考电压位于一接地电压与一最大电压之间。

3.根据权利要求1所述的静电式微扫描镜的驱动校正装置，其中该些参考电压之间的压差为彼此相同。

4.根据权利要求1所述的静电式微扫描镜的驱动校正装置，其中该面镜具有于一第一轴向及一第二轴向的摆动，其中当该电压设定单元依序设定该多个不同的参考电压以驱动该面镜进行于该第一轴向的摆动时，该面镜于该第二轴向为一静止状态。

5.根据权利要求1所述的静电式微扫描镜的驱动校正装置，其中该多个理想投射位置设定为该激光束投射至该投射表面的投射光点的多个投射位置，其中该多个理想投射位置位于一直线上且具有固定间距。

6.一种静电式微扫描镜的驱动校正方法，该静电式微扫描镜包括一面镜，用以带动一激光束投射至一投射表面，该驱动校正方法包括：

依序设定多个不同的参考电压以驱动该面镜摆动；

感测该激光束对应该多个参考电压投射至该投射表面的多个投射位置；

依据该些参考电压与其对应的该些投射位置建立一驱动查找表；

根据该驱动查找表判断多个理想投射位置分别对应的校正驱动电压；以及

根据该些校正驱动电压来驱动该面镜摆动。

7.根据权利要求6所述的静电式微扫描镜的驱动校正方法，其中每个该些参考电压具有一个对应的该投射位置。

8.根据权利要求6所述的静电式微扫描镜的驱动校正方法，其中该些参考电压之间的压差为彼此相同。

9.根据权利要求6所述的静电式微扫描镜的驱动校正方法，其中该面镜具有于一第一轴向及一第二轴向的摆动，其中当依序设定该些不同的参考电压以驱动该面镜进行于该第一轴向的摆动时，该面镜于该第二轴向为一静止状态。

10.根据权利要求6所述的静电式微扫描镜的驱动校正方法，其中该些理想投射位置设定为该激光束投射至该投射表面的投射光点的多个投射位置，其中该些理想投射位置位于一直线上且具有固定间距。