[发明专利]一种高精度定位控制平台

权利要求书

1.一种高精度定位控制平台，其特征在于，所述平台包括第一底座、移动机构、将第一底座与移动机构连接的至少一组导向部件、用于控制所述移动机构平面运动的驱动源，以及用于检测所述移动机构平面运动位置的反馈元件；

所述移动机构的运动质量重心设置在所述驱动源的推力中心或其接近位置，所述驱动源的推力中心设置在至少一组导向部件的刚度中心或其接近位置，即所述导向部件刚度中心通过第一底座连接设置在所述移动机构的运动质量重心或其接近位置，所述反馈元件立向放置并设置在所述导向部件的刚度中心， 从而使所述移动机构通过驱动源的供能达到移动机构沿导向部件平面移动的目的。

2.根据权利要求1所述的高精度定位控制平台，其特征在于，所述移动机构包括第二底座，所述第一底座上设置有对应所述第二底座的凹槽，所述第二底座悬置于所述凹槽中并通过所述导向部件与所述第一底座连接。

3.根据权利要求2所述的高精度定位控制平台，其特征在于，所述驱动源设置在所述凹槽中并对应所述第二底座沿所述导向部件引导方向延伸分布。

4.根据权利要求2所述的高精度定位控制平台，其特征在于，所述第二底座上设置有用于放置所述驱动源内磁铁的平面，所述驱动源内设有沿所述移动机构移动方向分布的两组线圈，所述两组线圈作为定子对称设置于动子的两侧，同时所述两组线圈均匀设置于所述导向部件的刚度中心，通过所述驱动源供能驱动所述移动机构平面移动。

5.根据权利要求4所述的高精度定位控制平面，其特征在于，所述第二底座沿所述移动机构的移动方向设有至少一个磁铁阵列。

6.根据权利要求1所述的高精度定位控制平台，其特征在于，所述驱动源的推力中心与所述导向部件的刚度中心、移动机构的运动质量中心一致。

7.根据权利要求1所述的高精度定位控制平台，其特征在于，所述导向部件设于所述第一底座与移动机构之间并沿所述移动机构方向设置。