[发明专利]一种激光刻蚀制绒工艺

说明书

 

技术领域

本发明涉及晶硅太阳能电池的制绒领域，特别涉及一种激光刻蚀制绒工艺。

背景技术

硅片制成电池片时，由于硅片表面是光滑的，太阳光很大一部分会被反射回去，导致太阳能电池吸收光减少，转换效率低下，为了减少光的反射引入了制绒这一技术，国内主流制绒技术为湿法刻蚀技术，即利用酸、碱腐蚀技术，碱制绒利用碱对硅片的各向异性腐蚀原理，腐蚀成大小不一，规则的金字塔状，使其达到减少光的反射的作用，其反射率约为14%，酸制绒利用酸对硅片的各向同性腐蚀原理，腐蚀成规则大小不一的坑，使其达到减少光的反射的作用，由于坑不规则，导致减反射效果不如碱制绒，其反射率为24%左右。

发明内容

针对上述问题，本发明为了弥补现有技术的缺陷，提供了一种降低反射率的激光刻蚀制绒工艺，大幅提高了太阳能电池转换效率。

本发明是通过如下技术方案实现的：

一种激光刻蚀制绒工艺，采用激光镭射机，具体的工艺过程为：（1）在激光镭射机的控制电脑上输入形状为圆锥体的刻蚀图形；（2）设定激光源与铅垂线成固定夹角a，激光源围绕激光镭射机中间的支柱自转刻蚀出圆锥形凹坑；（3）激光在整个硅片表面记性刻蚀，最终形成蜂窝状的圆锥体凹坑。

本发明的有益效果是：该发明激光刻蚀制绒工艺，可以刻蚀出蜂窝状的圆锥体凹坑，该种类型的刻蚀图形可反射率降至6%左右。

附图说明

下面结合附图对本发明作进一步的说明。

附图1为本发明中激光镭射机工作示意图；

附图2为使用本发明最终的刻蚀效果示意图；

图中，1激光源，2支柱，3铅垂线。

具体实施方式

附图为本发明的一种具体实施例。该发明一种激光刻蚀制绒工艺，采用激光镭射机，具体的工艺过程为：（1）在激光镭射机的控制电脑上输入形状为圆锥体的刻蚀图形；（2）设定激光源1与铅垂线3成固定夹角a，激光源1围绕激光镭射机中间的支柱2自转刻蚀出圆锥形凹坑；（3）激光在整个硅片表面进行刻蚀，最终形成蜂窝状的圆锥体凹坑。通过此工艺方法，使太阳能电池堆太阳光的反射率降至6%左右，大幅提高的电池的转化效率。