[发明专利]一种铍窗及其封接方法有效

专利信息
申请号: 201310749759.5 申请日: 2013-12-31
公开(公告)号: CN103715045A 公开(公告)日: 2014-04-09
发明(设计)人: 赛小锋;韦永林;曹希斌;田进寿;刘永安;盛立志 申请(专利权)人: 中国科学院西安光学精密机械研究所
主分类号: H01J29/86 分类号: H01J29/86;H01J31/50;H01J9/26
代理公司: 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 代理人: 杨引雪
地址: 710119 陕西省西*** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 一种 及其 方法
【说明书】:

技术领域

本发明属于X射线像增强器用铍窗封接领域,具体涉及一种铍窗及其封接方法。

背景技术

X射线像增强器是手提式X射线检测仪、X射线机器视觉系统的核心器件,由其所组成的仪器主要应用于人体四肢骨折检查、线路板及线路板焊点等的检测。X射线像增强器的输入窗通常选用对X射线透过率高的金属材料封接而成。X射线像增强器常用的输入窗为金属钛窗和铝窗,因为金属铍比金属钛、铝对X射线的透过率高得多,获得同样清晰的图像所需的X射线强度和计量都会低很多,因此,无论是对人身安全和环境保护采用金属铍作为X射线真空器件的输入窗都是最佳的选择。

铍一般采用钎焊和扩散焊方法。但金属铍窗的封接相对常用的钛输入窗和铝输入窗的封接而言会困难一些。钎焊要用铅基封接焊料和银基封接焊料.但无论是何种封接焊料,在铍表面的润湿性和流动性都较差,且铍易于氧化,增加了铍窗钎焊的难度。另外,铍窗的钎焊也不宜在过高的温度下进行,铍在高温下易于扩散,形成钎缝界面的孔洞。

对X射线真空器件而言,由于在制作过程中需要对器件进行400℃左右烘烤去气,故只能采用真空钎焊的方法制备X射线输入窗,可同时保证其真空气密性和耐烘烤的要求。专利200510040724.X提到采用胶粘的办法制备铍窗的方法只适用于不需要高温烘烤的密封条件下使用。

采用常规的钛输入窗封接方法封接小尺寸铍窗其封接成活率极低,大尺寸铍窗的封接难度可想而知。

发明内容

本发明的目的是:提供一种铍窗及其封接方法,解决现有铍窗结构及其封接方法密闭性不好、不耐烘烤的技术问题。

本发明是这样实现的:

一种铍窗,包括封接环以及置于封接环上方的铍窗片,其特殊之处在于:铍窗片下表面的封接边缘区域镀有一层金属镍,铍窗片下表面的封接边缘区域与封接环的封接面焊接。

上述铍窗还包括位于铍窗片上方的封接隔离环,所述铍窗片、封接环以及封接隔离环同轴,铍窗片上表面的封接边缘区域镀有一层金属镍,封接隔离环与铍窗片上表面的封接边缘区域焊接。

上述封接环的封接面的内边缘设置有倒角。

上述铍窗片的直径比封接隔离环的外边缘的直径小。

一种铍窗封接方法,其特殊之处在于:包括以下步骤:

1】去除铍窗片的表面的铍氧化膜后,在铍窗片的上下表面的有效输入面涂保护漆,在铍窗片的下表面的封接边缘区域镀一层金属镍;

2】将铍窗的各个部分固定在封接胎具内:

封接胎具包括封接底座、封接定位环以及封接压块,封接底座的中心设置有定位槽,定位槽用于容纳铍窗的封接环,封接定位环置于封接底座上并与封接底座扣合,封接定位环用于定位封接压块,固定封接压块插入封接定位环的环内;

将封接环放在封接底座的定位槽内,然后将封接焊料放置于封接环的封接面处,铍窗片下表面的封接边缘区域与封接焊料位置对准;

将封接定位环固定在封接底座上,将封接压块插入封接定位环内,并压在铍窗片上;

3】封接铍窗:

3.1】启动真空炉,升起真空炉钟罩,将封接底座、封接压块、封接定位环、铍窗作为整体放置于真空炉内托盘上,降下真空炉钟罩,设定铍窗封接工艺程序;

3.2】启动铍窗封接工艺程序,依次完成抽真空、系统升温、保温和降温的步骤,完成铍窗的真空封接。

较优的,上述步骤1】中,在铍窗片的上表面的封接边缘区域镀一层金属镍;步骤2】中,将封接隔离环的封接面与铍窗片上表面的封接边缘区域对准;铍窗片、封接环以及封接隔离环同轴;封接压块压在封接隔离环上。

较优的,步骤2】中,上述述封接环的封接面边缘设置有倒角。

上述铍窗片的直径比封接隔离环的外边缘的直径小。

上述封接焊料为AgCu28,所述焊料为厚0.1mm、宽3mm的圆环,圆环外径为16~106mm。

上述铍窗片的厚度为0.1~0.3mm,铍窗片的直径为15~105mm;封接隔离环厚度为0.5mm~1mm,封接隔离环的宽度为3mm~5mm,封接隔离环的内径为10mm~100mm,封接隔离环的外径为16~106mm。

上述步骤2】中,所述封接底座上设置有排气槽。

本发明的优点是:

(1)铍窗片的封接边缘区域电镀有一层金属镍,可以增加铍窗片和封接焊料之间的浸润性,有效提高铍窗的封接成活率。

(2)封接环的封接面的内边缘设置有倒角,防止焊料扩散到铍窗片的有效输入面。

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